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3/20夜の地震の影響

3月 21, 2021 投稿者 STAFF

EB描画装置が停止したほかは、今のところ影響はありません。22日からのご利用をお待ちしております。ご心配くださり、ありがとうございます。

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LPCVD復旧

2月 19, 2021 投稿者 STAFF

地震で不調となっておりましたLPCVDが復旧しました。SiN、Poly-Si、SiO2、全ての成膜テストまで完了しております。ぜひご利用ください。

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2/13夜の地震の影響

2月 14, 2021 投稿者 STAFF

地震直後に確認と応急対応を行い、本日14日朝から片付けを行いました。2階クリーンルームの装置につきまして、LPCVD以外は今のところ問題は見つかっておりません。明日15日朝から通常通りご利用いただける予定です。ただし、各装置で不具合が発生する可能性もありますので、ご利用時には十分ご注意いただき、何かございましたら、すぐにスタッフにお知らせください。3階クリーンルームは片付けが済んでおりませんが、ご利用が多い化学処理室（ドラフトチャンバーがあるエリア）から片付けを進めて、早急にご利用いただけるようにいたしますので、どうぞよろしくお願いいたします。

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キヤノンi線ステッパー搬入

2月 2, 2021 投稿者 STAFF

文部科学省先端研究設備整備補助事業（物質・材料科学分野）により調達を進めていた、キヤノン i線ステッパ FPA-3030i5+の搬入が無事完了しました。写真はクリーンルーム内にて搬入に携ったキヤノン株式会社、日本通運株式会社の皆様と、東北大学試作コインランドリのスタッフの集合写真です。また、搬入前の鉄骨梁補強工事で鹿島建設株式会社東北支店、剛性架台製作設置で特許機器株式会社の皆様に大変お世話になりました。関係者各位のご尽力、ご協力に深く感謝申し上げます。2月3日から立ち上げ作業が始まります。ご利用可能となるのは3月末の予定です。もうしばらくお待ちください。

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装置搬入と準備のスケジュール

1月 13, 2021 投稿者 STAFF

以下のとおり、新規装置搬入と準備を行います。ご利用の皆様にはご迷惑をお掛けしますが、ご了承くださいますようお願い申し上げます。

1月7日（木）
　　1F　FESEM（NICTより譲渡）搬入（～1月15日まで立ち上げ予定）

1月12日の週
　　【組立室】　片付け
　　【イエロールーム】　片付け、中央の机（コータ、HP）移設、Sussアライナ移設、旧ステッパユーティリティ除去等

1月15日（金）～17日（日）
　　【イエロールーム】　一部の壁を撤去（2月中旬～下旬のコータ・デベロッパ搬入後の壁設置まで開放状態）、FFU移設

1月19日（火）
　　【組立室】　キャップシール機等移設（2Fの別の部屋へ）
　　【スパッタ室】　アネルバRIE搬出

1月25日（月）
　　【組立室】　ステッパ剛性架台搬入

1月26日（火）
　　【スパッタ室】　エリオニクスECRロングスロースパッタ搬入

1月28日（木）
　　【検査室】　住友精密TEOS-PECVD搬入

2月2日（火）
　　【組立室】　キヤノンi線ステッパ搬入（～3月末まで立ち上げ）

2月中旬を予定
　　【イエロールーム】　Sussコータデベロッパ搬入（～3月末まで立ち上げ予定）

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首都圏における緊急事態宣言発出に関するお知らせ(2021/1/12更新)

1月 7, 2021 投稿者 STAFF

大学のBCPレベル2（1/8現在）における緊急事態宣言対象地域からの試作コインランドリのご利用ですが、既に計画されているところは、計画通りご利用ください。
新たにご利用を希望される場合は、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、受けさせていただきますので、ご相談ください。
また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものをご持参いただくなど、西澤センターの感染症防止対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。

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