装置搬入と準備のスケジュール

以下のとおり、新規装置搬入と準備を行います。ご利用の皆様にはご迷惑をお掛けしますが、ご了承くださいますようお願い申し上げます。

1月7日（木）
　　1F　FESEM（NICTより譲渡）搬入（～1月15日まで立ち上げ予定）

1月12日の週
　　【組立室】　片付け
　　【イエロールーム】　片付け、中央の机（コータ、HP）移設、Sussアライナ移設、旧ステッパユーティリティ除去等

1月15日（金）～17日（日）
　　【イエロールーム】　一部の壁を撤去（2月中旬～下旬のコータ・デベロッパ搬入後の壁設置まで開放状態）、FFU移設

1月19日（火）
　　【組立室】　キャップシール機等移設（2Fの別の部屋へ）
　　【スパッタ室】　アネルバRIE搬出

1月25日（月）
　　【組立室】　ステッパ剛性架台搬入

1月26日（火）
　　【スパッタ室】　エリオニクスECRロングスロースパッタ搬入

1月28日（木）
　　【検査室】　住友精密TEOS-PECVD搬入

2月2日（火）
　　【組立室】　キヤノンi線ステッパ搬入（～3月末まで立ち上げ）

2月中旬を予定
　　【イエロールーム】　Sussコータデベロッパ搬入（～3月末まで立ち上げ予定）

首都圏における緊急事態宣言発出に関するお知らせ(2021/1/12更新)

大学のBCPレベル2（1/8現在）における緊急事態宣言対象地域からの試作コインランドリのご利用ですが、既に計画されているところは、計画通りご利用ください。
新たにご利用を希望される場合は、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、受けさせていただきますので、ご相談ください。
また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものをご持参いただくなど、西澤センターの感染症防止対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。

あけましておめでとうございます

新年あけましておめでとうございます。

昨年は新型コロナウィルス感染症で大変な中でも、多くの方にご利用いただきました。スタッフ一同、感謝申し上げます。
しばらくは大変な状況が続きますが、しっかり支援をさせて頂きますので、本年もどうぞよろしくお願い申し上げます。