装置搬入と準備のスケジュール
以下のとおり、新規装置搬入と準備を行います。ご利用の皆様にはご迷惑をお掛けしますが、ご了承くださいますようお願い申し上げます。
1月7日(木)
1F FESEM(NICTより譲渡)搬入(~1月15日まで立ち上げ予定)
1月12日の週
【組立室】 片付け
【イエロールーム】 片付け、中央の机(コータ、HP)移設、Sussアライナ移設、旧ステッパユーティリティ除去等
1月15日(金)~17日(日)
【イエロールーム】 一部の壁を撤去(2月中旬~下旬のコータ・デベロッパ搬入後の壁設置まで開放状態)、FFU移設
1月19日(火)
【組立室】 キャップシール機等移設(2Fの別の部屋へ)
【スパッタ室】 アネルバRIE搬出
1月25日(月)
【組立室】 ステッパ剛性架台搬入
1月26日(火)
【スパッタ室】 エリオニクスECRロングスロースパッタ搬入
1月28日(木)
【検査室】 住友精密TEOS-PECVD搬入
2月2日(火)
【組立室】 キヤノンi線ステッパ搬入(~3月末まで立ち上げ)
2月中旬を予定
【イエロールーム】 Sussコータデベロッパ搬入(~3月末まで立ち上げ予定)