LPCVD復旧
地震で不調となっておりましたLPCVDが復旧しました。SiN、Poly-Si、SiO2、全ての成膜テストまで完了しております。ぜひご利用ください。
2/13夜の地震の影響
地震直後に確認と応急対応を行い、本日14日朝から片付けを行いました。2階クリーンルームの装置につきまして、LPCVD以外は今のところ問題は見つかっておりません。明日15日朝から通常通りご利用いただける予定です。ただし、各装置で不具合が発生する可能性もありますので、ご利用時には十分ご注意いただき、何かございましたら、すぐにスタッフにお知らせください。3階クリーンルームは片付けが済んでおりませんが、ご利用が多い化学処理室（ドラフトチャンバーがあるエリア）から片付けを進めて、早急にご利用いただけるようにいたしますので、どうぞよろしくお願いいたします。
キヤノンi線ステッパー搬入
文部科学省先端研究設備整備補助事業（物質・材料科学分野）により調達を進めていた、キヤノン i線ステッパ FPA-3030i5+の搬入が無事完了しました。写真はクリーンルーム内にて搬入に携ったキヤノン株式会社、日本通運株式会社の皆様と、東北大学試作コインランドリのスタッフの集合写真です。また、搬入前の鉄骨梁補強工事で鹿島建設株式会社東北支店、剛性架台製作設置で特許機器株式会社の皆様に大変お世話になりました。関係者各位のご尽力、ご協力に深く感謝申し上げます。2月3日から立ち上げ作業が始まります。ご利用可能となるのは3月末の予定です。もうしばらくお待ちください。