クリーンルームユーティリティ設備の復旧（4/19(火)）

開放冷却塔の工事が完了しました。本日より冷水が製造できるようになり、クリーンルームの空調、プロセス冷却水の制御が可能となりました。酸化拡散炉、LPCVDなど高温になる装置について、動作確認を進めております。そのほかの装置の多くはご利用いただけますので、ぜひ使ってください。

＜クリーンルームユーティリティ設備の復旧状況＞

受電設備：4/13に復旧しました。

排気設備：4/14に復旧しました。

空調設備：4/19に復旧しました。

スタッフ一同、皆様のご利用をお待ちしております。