試作コインランドリとは

MEMSを中心とした各種デバイス試作開発に関わる100台以上の装置を企業や大学などに開放し、研究開発や実用化を支援しています。共用の設備で、利用者は必要な時に必要な装置を利用できます。利用装置、時間に応じて課金します。
東北大学に蓄積されたノウハウが利用できます。
受託開発は行っておりませんが、デバイス設計、プロセス設計、装置操作指導などスタッフが最大限支援します。
技術は保有しているものの適当な試作開発設備がない企業が、技術者を派遣して自ら試作することで、開発のリスク、コストを軽減できます。試作開発と同時に、実際の開発経験を有する技術者も育成できます。
一定の条件のもとで企業が製品の製作を行うことが可能です。(大学の研究開発の成果を製品として販売し社会で実証するとともに、生じた成果・課題を大学に教えていただき、教育研究をさらに活発にすることを目的としています。)

ワンフロア1,800m2の大きなクリーンルームがある東北大学西澤潤一記念研究センターで行っています。2010年の開始以来、270社以上の企業、60以上の大学や公的研究機関にご利用いただいています。

主な装置

対応するサンプルサイズ:小片~8インチ(一部の装置は4インチまで)

  • リソグラフィ(コンタクトアライナ、マスクレスアライナ、レーザ描画装置、電子線描画装置、自動コータ、スピンコータ、ホットプレートなど)
  • 酸化拡散炉
  • イオン注入、熱処理
  • CVD(LP-CVD、PE?CVD、常圧熱CVD、MOCVD)、ALD、ゾルゲル成膜
  • スパッタ、蒸着、めっき
  • ドライエッチング(DRIE、ICP-RIE、CCP-RIE、CDE、VaporHF)
  • ウェットエッチング(Si等方性、Si異方性、金属、その他)
  • 接合、ダイサ、研磨、レーザ加工、サンドブラスト
  • ナノインプリント(UV、熱)
  • 各種測定、評価

技術

  • 大学にこれまで蓄積されたノウハウにアクセス可能です。
  • スタッフ8名(准教授1、助教1、研究員6)が技術相談(無料)の対応や装置操作方法の指導をするなど、試作開発を全力で支援します。
  • ニーズに基づいたプロセス開発を大学が実施して提供します。

費用

設備、技術支援について、利用時間に応じて課金します。

  • 施設使用料 : 990円/h(学内830円/h)
  • 技術支援料:6,514円/h(文科省ナノテクプラットフォーム利用の場合、3,300円/h)
  • 装置使用料:装置毎に設定
  • 消耗品費:実費(薬品、貴金属、基板などを使われた場合)