以下のとおり、新規装置搬入と準備を行います。ご利用の皆様にはご迷惑をお掛けしますが、ご了承くださいますようお願い申し上げます。

1月7日（木）
　　1F　FESEM（NICTより譲渡）搬入（～1月15日まで立ち上げ予定）

1月12日の週
　　【組立室】　片付け
　　【イエロールーム】　片付け、中央の机（コータ、HP）移設、Sussアライナ移設、旧ステッパユーティリティ除去等

1月15日（金）～17日（日）
　　【イエロールーム】　一部の壁を撤去（2月中旬～下旬のコータ・デベロッパ搬入後の壁設置まで開放状態）、FFU移設

1月19日（火）
　　【組立室】　キャップシール機等移設（2Fの別の部屋へ）
　　【スパッタ室】　アネルバRIE搬出

1月25日（月）
　　【組立室】　ステッパ剛性架台搬入

1月26日（火）
　　【スパッタ室】　エリオニクスECRロングスロースパッタ搬入

1月28日（木）
　　【検査室】　住友精密TEOS-PECVD搬入

2月2日（火）
　　【組立室】　キヤノンi線ステッパ搬入（～3月末まで立ち上げ）

2月中旬を予定
　　【イエロールーム】　Sussコータデベロッパ搬入（～3月末まで立ち上げ予定）