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第31回マイクロシステム融合研究会

日時: 2021年11月12日（金） 13:00～17:20

開催方法: オンライン（Zoom）　参加無料

主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

【プログラム】　テーマ：光デバイスと応用

13:00～13:10　戸津健太郎（東北大学）　「ご挨拶と試作コインランドリの活動報告」

13:10～13:50　高木康博（東京農工大学）　「MEMS型空間光変調器を用いたホログラフィックディスプレイの実現法」

13:50～14:30　南條健（リコー）　「サスペンションフリー型ミラーアレーデバイスの展開」

14:30～15:10　岩見健太郎（東京農工大学）「誘電体メタサーフェスを利用した可変焦点メタレンズ」

15:10～15:20　休憩

15:20～16:00　杉山　厚志（浜松ホトニクス）　「超小型波長掃引量子カスケードレーザの開発」

16:00～16:40　小野明（光融合技術協会）「光産業発展のため光融合技術協会ができること」

16:40～17:20　森山雅昭（東北大学）　「新規導入のキヤノンi線ステッパFPA-3030i5+の紹介」

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EBグレースケール・ワークショップ（講演会）

日時: 2021年10月26日（火）　15:00-17:00

開催方法: オンライン（Zoom）　

主催: GenISys株式会社、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

参加費: 無料

【プログラム】

15:00 – 16:00

清水諭（GenISys株式会社）「電子ビーム露光装置による三次元構造物作成のためのドーズ量自動計算ソフトのご紹介」

BEAMERの機能のうち、とくにEBグレースケールのためのドーズ量自動計算の方法について紹介します。

16:00 – 17:00

新関嵩（Bush Clover株式会社）「電子線描画による三次元構造作成技術」

DOEやマイクロレンズなどの微細な三次元構造を電子線描画装置とBEAMERで作成するための実際の手順や、注意すべき点などを説明します。また、実際の加工例についても紹介します。