Latest News

5/27 マスクレスリソグラフィーセミナー(オンライン)

日時:2020年5月27日 13:30~15:30

主催:ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

マスクレスアライナーの他、描画データシミュレーションソフト等の関連技術のセミナーです。戸津より、試作コインランドリにおけるマスクレスレーザ露光装置(DWL2000、MLA150)の活用事例も紹介します。詳細はこちら。

→(御礼)多くの方にご参加いただきました。ありがとうございました。マスクレス露光、グレイスケールリソグラフィなど、ご質問がありましたら、お気軽にどうぞ。

5/21 再稼働

再開いたしました。長い期間、お待たせしまして、申し訳ございませんでした。

こちらの「西澤センターにおける新型コロナウイルス感染症防止対策」をご確認、遵守いただき、感染症拡大防止にご協力をお願いいたします。
学外の方、県外に在住の方は、お手数ですが、ご利用の際、こちらの「質問票」を毎回、事務室までご提出ください。学内の方は初回のみで結構です。
なお、緊急事態宣言の対象地域からの利用はご遠慮いただいております。解除後のご利用をお願いいたします。
東北大学の行動指針レベルについては、東北大学のホームページを参照ください。。

スタッフ一同、皆様のご利用を心からお待ちしております。