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お知らせ

<お知らせ(2015/11/17)>
仙台市営地下鉄東西線開業及び市営バス路線再編に伴い、西澤センターへのアクセス方法が変わります。12/6以降の西澤センターへのアクセス方法はこちら


<受賞のお知らせ(2015/6/18)>
森山雅昭助手の文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞受賞に関する英文版のJST-News記事が、掲載されました。詳しくはこちら


<更新のお知らせ(2015/4/1)>
4月1日より試作コインランドリ使用料を改定いたします。新料金表(PDF)


<受賞のお知らせ(2015/2/6)>
森山雅昭助手が文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム平成26年度技術支援賞を受賞しました。詳しくはこちら


<研究会のお知らせ(2015/2/3)>
2月10日西澤センター内でマイクロシステム融合研究会が開催されます。試作コインランドリ利用の成果についての講演が行われます。詳しくはこちら


<受賞のお知らせ(2013/9/5)>
試作コインランドリの取組について、
第11回産学官連携功労者表彰経済産業大臣賞を受賞しました。
詳しくはこちら

4インチ、6インチのMEMSを中心とした半導体試作開発ラインをご利用ください

<試作コインランドリとは>
MEMSを中心とした各種半導体試作開発に関わる4/6インチラインを企業などに開放し、実用化を支援しています。共用の設備で、利用者は必要な時に必要な装置を利用できます。技術は保有しているが、適当な試作開発設備が無くて困っている企業等が人材を派遣して自ら試作を行うことで、開発のコスト、リスクを軽減できると考えています。また、実際の経験を持つ技術者も育成できます。

<主な装置>
パターンジェネレータ(マスク作製)、露光機、酸化炉、拡散炉、LP-CVD(poly-Si,SiO2,SiN)、PE−CVD(SiO2,SiN)、スパッタ装置、蒸着装置、Si-DeepRIE装置、接合装置、ダイサ、その他(洗浄、フォトリソ、ウェットエッチング、評価に関する装置等) 詳しくはこちらをご覧ください。

<技術>
大学にこれまで蓄積されたノウハウにアクセス可能です。さらに、センターの職員が装置の操作方法を指導するなど、試作開発を最大限支援いたします。

<費用>
装置利用、技術支援について、利用時間に応じて課金いたします。料金表はこちらです。また、消耗品を使われた場合は相当額を承ります。

最新情報&更新情報

2015.11.17 12/6以降の西澤センターへのアクセス方法を掲載いたしました。
2015.6.18 記事掲載についてご案内を掲載しました。
2015.4.1 料金表を更新しました。
2015.2.6 受賞のお知らせを更新しました。
2015.2.3 研究会のご案内について掲載しました。
2014.1.22 メニューにイベントを追加しました。
2013.10.25 MEMS実践セミナーのご案内を公開しました。
2013.9.5 受賞のお知らせを更新しました