空調設備更新工事による営業休止日のお知らせ
老朽化した温水・冷水製造設備を更新しますので、下記の日時で試作コインランドリの営業を休止致します。
御利用の皆様にはご不便、ご迷惑をおかけ致し大変申し訳ございません。
営業休止日：2025年3月29日（土）～4月21日（月）（予定）
15th Fraunhofer Symposium in Sendai 開催のお知らせ
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターは、 ”15thFraunhofer Symposium in Sendai” を開催いたします。
本シンポジウムは東北大学とフラウンホーファー研究機構との連携により毎年開催されてきました。第15回にあたる今回のシンポジウムではJETRO、宮城県及びＩＶＡＭマイクロテクノロジーネットワークと連携して健康・ライフサイエンス分野におけるマイクロ・ナノテクノロジーとその応用に関連した講演とポスター展示、ビジネスマッチングイベントを行います。
詳細はこちらのPDFをご覧ください。
SENDAI MAKERSPACE TOURS 2023
仙台にはどなたでものづくりに取り組める「メイカ―スペース」がたくさんあります。今回、7月29日から11月5日にかけてツアーが企画されていますので、よろしければぜひご参加ください。
第19回MEMS集中講義
毎年恒例のMEMS集中講義を8月2日から4日まで、YouTubeのライブ配信で行います。その後もアーカイブとしてご覧いただけます。詳しくはこちらまで。MEMS パークコンソーシアム｜公開セミナー (memspc.jp)
プログラム
8月2日（月）
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎]
13:00-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎]
16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城]
8月3日（火）
9:00-10:30 触覚センサ等ロボット応用とLSI [室山真徳]
10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COIプロジェクト成果紹介 [吉田慎哉]
13:00-14:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]
14:40-15:50 MEMSの新しい話題 [田中秀治]
16:00-17:00 Microsensors based on the stress impedance effect [Joerg Froemel]
8月4日（水）
9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人]
10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan]
11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡（MRFM） [戸田雅也]
13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用～細胞の温度計測～ [猪股直生]
14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]
15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明]
16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 [森山雅昭]
5/27 マスクレスリソグラフィーセミナー（オンライン）
日時：2020年5月27日 13:30～15:30
主催：ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
マスクレスアライナーの他、描画データシミュレーションソフト等の関連技術のセミナーです。戸津より、試作コインランドリにおけるマスクレスレーザ露光装置（DWL2000、MLA150）の活用事例も紹介します。詳細はこちら。
→（御礼）多くの方にご参加いただきました。ありがとうございました。マスクレス露光、グレイスケールリソグラフィなど、ご質問がありましたら、お気軽にどうぞ。