カテゴリー: イベント

5/27 マスクレスリソグラフィーセミナー(オンライン)

日時:2020年5月27日 13:30~15:30

主催:ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

マスクレスアライナーの他、描画データシミュレーションソフト等の関連技術のセミナーです。戸津より、試作コインランドリにおけるマスクレスレーザ露光装置(DWL2000、MLA150)の活用事例も紹介します。詳細はこちら。

→(御礼)多くの方にご参加いただきました。ありがとうございました。マスクレス露光、グレイスケールリソグラフィなど、ご質問がありましたら、お気軽にどうぞ。