地震直後に確認と応急対応を行い、本日14日朝から片付けを行いました。2階クリーンルームの装置につきまして、LPCVD以外は今のところ問題は見つかっておりません。明日15日朝から通常通りご利用いただける予定です。ただし、各装置で不具合が発生する可能性もありますので、ご利用時には十分ご注意いただき、何かございましたら、すぐにスタッフにお知らせください。3階クリーンルームは片付けが済んでおりませんが、ご利用が多い化学処理室（ドラフトチャンバーがあるエリア）から片付けを進めて、早急にご利用いただけるようにいたしますので、どうぞよろしくお願いいたします。