Hands-on-access Fab, uSIC, Tohoku University
いつも試作コインランドリをご利用下さり、誠にありがとうございます。
年度末になりましたので、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM事業（公開事業））のご利用の皆様には、今年度（2022年度）のARIM事業利用報告書のご作成・ご提出をお願い申し上げる次第です。
ご作成頂く利用報告書は、年度単位・課題毎に国へ提出が必要なものですので、どうかご理解下さいますようお願い申し上げます。
利用報告書は公開されますので、差支えない範囲でご記入ください。
●提出先、問合せ先：
東北大学ナノテク融合技術支援センター
微細加工分野 試作コインランドリ
担当：戸津健太郎、森山雅昭
Mail: shisaku-info/at/@ml.tohoku.ac.jp （※ /at/ を @ に変更して下さい）
●〆切：2023年3月17日（金）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。
日時： 2023年3月24日(金) 13：00～17：30
開催方法： オンライン（Zoom）
主催： 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
参加費：無料
詳細・申込み: https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA
(ここから入れない場合はブラウザにコピーアンドペーストしてみてください)
■配信用のURLは詳細決まりましたら、お申込みの方々へメールにてご連絡いたします。
■詳細はこちらをご覧ください。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html
問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子 E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp TEL 022-305-2351
【プログラム】
13：00～13：40 関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13：40～14：20 渡邉 陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」
14：20～15：00 花城 秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」
～休 憩～
15：10～15：50 平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15：50～16：30 竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16：30～17：10 佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17：10～17：30 戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」