緊急事態宣言対象地域からのご利用について
緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。
第19回MEMS集中講義
毎年恒例のMEMS集中講義を8月2日から4日まで、YouTubeのライブ配信で行います。その後もアーカイブとしてご覧いただけます。詳しくはこちらまで。MEMS パークコンソーシアム｜公開セミナー (memspc.jp)
プログラム
8月2日（月）
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎]
13:00-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎]
16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城]
8月3日（火）
9:00-10:30 触覚センサ等ロボット応用とLSI [室山真徳]
10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COIプロジェクト成果紹介 [吉田慎哉]
13:00-14:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]
14:40-15:50 MEMSの新しい話題 [田中秀治]
16:00-17:00 Microsensors based on the stress impedance effect [Joerg Froemel]
8月4日（水）
9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人]
10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan]
11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡（MRFM） [戸田雅也]
13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用～細胞の温度計測～ [猪股直生]
14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]
15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明]
16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 [森山雅昭]