文部科学省先端研究設備整備補助事業（物質・材料科学分野）により調達を進めていた、キヤノン i線ステッパ FPA-3030i5+の搬入が無事完了しました。写真はクリーンルーム内にて搬入に携ったキヤノン株式会社、日本通運株式会社の皆様と、東北大学試作コインランドリのスタッフの集合写真です。また、搬入前の鉄骨梁補強工事で鹿島建設株式会社東北支店、剛性架台製作設置で特許機器株式会社の皆様に大変お世話になりました。関係者各位のご尽力、ご協力に深く感謝申し上げます。2月3日から立ち上げ作業が始まります。ご利用可能となるのは3月末の予定です。もうしばらくお待ちください。