日時: 2021年10月26日（火）　15:00-17:00

開催方法: オンライン（Zoom）　

主催: GenISys株式会社、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

参加費: 無料

申込み先: https://forms.gle/XYru34sr9yP4jhXF8

【プログラム】

15:00 – 16:00

清水 諭（GenISys株式会社）「電子ビーム露光装置による三次元構造物作成のためのドーズ量自動計算ソフトのご紹介」

BEAMERの機能のうち、とくにEBグレースケールのためのドーズ量自動計算の方法について紹介します。

16:00 – 17:00

新関 嵩（Bush Clover株式会社）「電子線描画による三次元構造作成技術」

DOEやマイクロレンズなどの微細な三次元構造を電子線描画装置とBEAMERで作成するための実際の手順や、注意すべき点などを説明します。また、実際の加工例についても紹介します。