<お問い合わせ先>
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ケースC:ジャイロ、マイクロ・ナノマシニング
C1 電磁駆動振動ジャイロ
C2 シリコンリング式ジャイロ
C3 圧電ジャイロ
C4 静電駆動容量検出ジャイロ
C5 ヨーレート・加速度センサ
C6 自動車スマホ他用加速度センサ・ジャイロ
C7 パターニング
C8 エッチング
C9 堆積
C10 走査プローブ顕微鏡(SPM)プローブ
C11 近接場光プローブとボータイアンテナ
C12 薄膜共振子による高感度センサ
C13 マルチプローブ記録
C14 電子源
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