<お問い合わせ先>
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ポスター一覧 (ご覧になりたい項目をクリックしてください)
ポスター配置図
ポスター13
:
超並列電子ビーム描画装置の開発
ポスター0
: MEMS
とは
ポスター14
:
Power MEMS
ポスター
1 :
光
MEMS
とマイクロ
/
ナノ光学
ポスター15
:
製造・検査・環境・安全関係
MEMS
ポスター2
:
MEMS
用
PZT
薄膜
ポスター16
:
アドバンテスト
ポスター3
:
RF MEMS
ポスター17
:
リコー
ポスター4
:
機械量センサ
ポスター18
:
U.C.Berkeley
ポスター5
:
マイクロマシニングとパッケージング
ポスター19
:
フラウンホーファ研究機構
ポスター6
:
ナノマシニング
ポスター20
:
東北大学のフラウンホーファプロジェクトセンタ
ポスター7
:
CMOS LSI
の設計・試作
ポスター21
:
iCAN (MEMS
応用コンテスト)
ポスター8
:
センサネットワーク
ポスター22
: MEMS
パークコンソーシアム
ポスター9
:
医用マイクロセンサ
(ISFET
他
)
ポスター23
:
μ
SIC
によるオープンコラボレーション
ポスター10
:
低侵襲医療とヘルスケア
ポスター24
:
IMEC (SiGe MEMS
の拠点
)
ポスター11
:
触覚センサネットワーク
ポスター25
:
IMEC (
エネルギハーベスタ用
MEMS
と電子嗅覚
)
ポスター12
:
LSI
上への
MEMS
の転写によるヘテロ集積化
ポスター26
:
東北大学と企業の連携による
MEMS
製品化の例