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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ケースB:圧センサ、マイク、加速度センサ
B1 ピエゾ抵抗型圧力センサ
B2 集積化容量型圧力センサ
B3 振動型圧力センサ
B4 容量型真空センサ
B5 容量型真空センサ製品
B6 MEMSマイクロホン
B7 MEMSマイクロホン ウェハ
B8 耐湿性MEMSマイクロホン
B9 自動車用容量型加速度センサ
B10 表面マイクロマシニング加速度センサウェハ
B11 各種加速度センサ
B12 集積化容量型加速度センサ
B13 3軸加速度センサ
B14 静電浮上回転ジャイロ
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