<お問い合わせ先>
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ケースE:マイクロ流体、ヘテロ集積化、耐環境デバイス
E1 LIGAプロセス
E2 レーザプロセスとステルスダイシング
E3 陽極接合
E4 陽極接合できるLTCC貫通配線基板
E5 接合材料
E6 乗り合いCMOSLSIウェハ
E7 レーザ消去ウェハプロセス
E8 超並列電子ビーム描画装置
E9 液体用マイクロポンプとマイクロバルブ・化学分析システム
E10 マイクロミキサーと粒子分析
E11 気体用フローセンサ・マスフローコントローラ
E12 ベーカブルマイクロバルブ・耐蝕マスフローコントローラ
E13 耐環境センシング
E14 ガラス成形のための炭化珪素(SiC)モールド
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