F1 小形ガスタービンエンジン発電機 |
F2 Siマイクロタービンと熱電発電 |
F3 ロストモールドプロセスによるSiCとPZT, 反応焼結によるSi3N4 |
F4 マイクロ燃料電池 |
F5 燃料改質器 |
F6 ディジタルマイクロスラスタ (固体ロケットエンジンアレイ) |
F7 静電マイクロモータ・アクチュエータ |
F8 分布型静電マイクロアクチュエータ |
F9 圧電マイクロステージ |
F10 横方向駆動圧電マイクロアクチュエータ |
F11 触覚ディスプレイと触覚イメージャ |
F12 マイクロ磁気冷却機 |
F13 熱型MEMSスイッチ |
F14 静電・圧電型MEMSスイッチ |