青葉山連絡バス再開
10月3日、地下鉄青葉山駅と西澤センター間の連絡バス（無料）が再開されます。ぜひご利用ください。
青葉山駅（南1） 9：20 → 西澤センター 9：31
青葉山駅（南1） 13：28 → 西澤センター 13：39
西澤センター 13：45 → 青葉山駅（南1）13：56
西澤センター 18：40 → 青葉山駅（南1）18：51
NMFS
微細パターン形成に関するシンポジウムを9月7日～9日、東北大学にて開催します。初日は講演、2日目、3日目は試作コインランドリにおける実習です。参加費無料です。皆様、ぜひ、ご参加ください。
半導体加工技術を応用して微細パターンを形成するナノマイクロファブリケーションは、半導体のみならずセンサや微小光学部品などの幅広いデバイス作製に欠かせない技術です。その要であるリソグラフィ技術のほか、エッチング、成膜、インプリント、めっきなど、様々な技術が複合的に用いられますが、加工装置や計測装置の進歩により、その応用範囲が拡大しています。本シンポジウムでは、デバイス分野の研究開発を加速させることを目的として、最新の加工装置や計測装置で可能となるナノマイクロファブリケーションに関する講演とハンズオンの実習を行います。
<日程> 2022年9月7日(水)~9日(金)
<主催> Nano-Micro Fabrication Symposium実行委員会
<共催> 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
<会場> 東北大学環境科学研究科本館/西澤潤一記念研究センター
<対象分野> ナノ/マイクロファブリケーションに関わる技術全般
<プログラム>
9月7日 Seminar 環境科学研究科本館 講演：2階大講義室 技術展示：1階展示スペース
10:30 開会挨拶
10:40-11:30 基調講演
東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センター 矢代 航 教授
「微細加工のX線・中性子イメージングへの応用」
11:30-12:30 休憩（近隣で昼食をとられる方へご案内 https://goo.gl/maps/gasRnzTM5R18eZBRA ）
12:30-17:00 講演、技術展示
12:30-12:50 アメテック株式会社
12:50-13:10 パーク・システムズ・ジャパン株式会社
13:10-13:30 SIJ Technology, Inc.
13:30-14:10 ～ネットワーキングブレーク（技術展示見学）～
14:10-14:30 ミカサ株式会社
14:30-14:50 株式会社ティ・ディ・シー
14:50-15:10 住友精密工業株式会社
15:10-15:30 GenlSys株式会社
15:30-15:50 ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
16:00-16:50 展示会ブースツアー
16:50 閉会挨拶
技術展示：上記講演企業に加えて、日東電工株式会社
9月8日 Hands-on Workshop -Basic- 西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置、EB描画装置、BEAMER、Zygo、膜厚測定機能付きスピンコータ、サブフェムトインクジェット、AFMなど、メーカーのご協力により8コースを用意しています。
10時～17時を2時間ごとに3つのセッションに分けていますので、最大3つのコースへの参加が可能です。
9月9日 Hands-on Workshop -Advanced- 西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置によるグレイスケール露光（DOE、マイクロレンズアレイ）、EB描画装置によるBEAMER補正パターンの露光
Hands-on Workshopのプログラム 8月19日現在(PDF)
お申込みなどの詳細→ NMFS ホームページ
MEMS集中講義を高松で開催
8月8日～9日、香川大学の皆様のご協力により、高松で開催いたしました。現地参加20名、オンライン参加260名と多くの皆様にご参加いただきました。ありがとうございました。引き続きYouTubeにてアーカイブ配信を行っています。
オンライン講演会のご案内
“Nanocoatings are the future”
－A look at advanced coating technology－ Mr. Michael Robinson, Consultant, Italy
2022年7月28 日（木） 16:00-18:00
自動車の外装に応用されたナノコーテイングを具体例として取り上げながら、デザイナーとしての視点で、以下のポイントについて彼の見解を示します；
＊今日の光学膜コーテイング
＊ナノテクノロジー
＊ナノマテリアル － スマートマテリアル
＊バイオナノテクノロジー － バイオナノマシン － バイオナノセンサー
＊MEMS対NEMS
＊MOEMS対NOEMS
＊ナノチップ
＊ナノボット
参加申込方法：
参加希望者は、ご芳名、貴社名、ご所属、役職、所在地、連絡先、Ｅメールをお知らせください。
参加申し込み先 -光融合技術協会理事 小野明 akira.ono1257_@_gmail.com （_@_ を@に変換してください。）
MS Teams参加URLをお送りします。
MEMS集中講義（懇親会中止のお知らせ）
8月8日～10日にかけて高松でMEMS集中講義を行いますが、2日目の夜に企画しておりました懇親会は中止とさせていただきます。新型コロナウイルスの急速な感染拡大の状況に対して、主催関係者で慎重に検討した結果です。大変残念ですが、ご理解を賜りますよう、お願い申し上げます。
第32回マイクロシステム融合研究会
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第32回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。
今回は、アイデアを製品などの形にしたり、デバイスの完成度を高める「プロトタイピング」や、「起業支援」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。
日時： 2022年7月12日(火) 14：00～17：10
開催方法： オンライン（Zoom）
主催： 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
参加費： 無料
申込みフォーム： https://forms.gle/1JgdWEGUyRCnjvKN6
問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 庄子 留美子 TEL 022-305-2351
【プログラム】
2022年7月12日(火)
14：00～14：30 名高 新悟（株式会社名高精工所）「「京都を試作する」京都試作ネットの取り組み」
14：30～15：00 浅田 七星（合同会社DMM.com）「DMM.make AKIBAの取り組み（仮題）」
15：00～15：30 対馬 登（岩手大学）「岩手大学学内カンパニーの取組み（仮題）」
休 憩
15：40～16：10 大網 拓真（FabLab SENDAI – FLAT）「ローカルな工房のネットワークと協働について」
16：10～16：40 小山田 有裕（株式会社MAKOTO）「東北大学スタートアップガレージから見る学生起業家支援とプロトタイピング」
16：40～17：10 宮口 裕（東北大学）「東北大学プロトタイプラボの紹介と飲込みセンサ開発」
第20回MEMS集中講義
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。今回は3年ぶりに現地会場での開催で、懇親会も企画しています。講義はネット配信もしますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用いただければ幸いです。例年通り参加費は無料です。コロナ対策のこともあり、事前のお申し込み（一次締め切り：7月8日）をお願いいたします。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と高松でお会いできるのを楽しみにしております。
日時：2022年8月8日（月）～10日（水）
場所：8日、9日 かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
https://www.symboltower.com/access/ JR高松駅より徒歩3分
10日 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室（3号館1階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/ https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/
主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター
共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
参加費：無料
講義資料：冊子は配布せず、MEMSパークコンソーシアムのホームページからダウンロードいただくようにしますので、事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意しますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
お申込みフォーム： https://forms.gle/Xmf2n85HcC88e8YK7
お申込み一次締め切り：7月8日（金）
問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 齋藤哲郎
E-mail: t-saitoh_@_tohoku.ac.jp _@_→@ Tel. 022-229-4113
プログラム
8月8日（月） 場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]
13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境) [戸津健太郎(東北大)]
15:10-16:40 集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用 [鈴木裕輝夫(東北大)]
16:40-17:40 香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開 [高尾英邦(香川大)]
8月9日（火） 場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-10:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
10:40-12:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
13:00-14:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大)]
14:40-15:30 Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]
15:30-16:20 MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大)]
16:30-17:30 香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション [寺尾京平(香川大)]
18:00-20:00 懇親会 ※新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に検討した結果、中止とさせてください。大変残念ですが、ご理解を賜りますよう、お願い申し上げます。
8月10日（水） 場所：香川大学 創造工学部3101教室（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
13:30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]
15:10-16:00 香川大学研究紹介：農業センサプラットフォ－ムの実現に向けたMEMS型維管束センサの開発 [下川房男(香川大)]
16:00-17:00 香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団) 微細加工施設見学
※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定
～8/10終了後の交通手段について～
飛行機：20時前後発の羽田行きの2便に間に合います。
新幹線：JR高松駅に19:00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナ－(約1時間)と新幹線(約3時間)で、その日のうちに東京まで帰れます。
プロトタイプラボ オープン
電子工作、機械工作、評価に関する100台以上の機器が時間単位で利用可能です。半導体チップやセンサなどのデバイスを組み合わせたハードウェアの試作にも対応します。商品に近い形まで完成度を高められます。詳しくはこちら
クリーンルームユーティリティ設備の復旧（4/19(火)）
開放冷却塔の工事が完了しました。本日より冷水が製造できるようになり、クリーンルームの空調、プロセス冷却水の制御が可能となりました。酸化拡散炉、LPCVDなど高温になる装置について、動作確認を進めております。そのほかの装置の多くはご利用いただけますので、ぜひ使ってください。
＜クリーンルームユーティリティ設備の復旧状況＞
受電設備：4/13に復旧しました。
排気設備：4/14に復旧しました。
空調設備：4/19に復旧しました。
スタッフ一同、皆様のご利用をお待ちしております。
CINTSの新HP・myPage 公開 4/7
ナノテク融合技術支援センター(CINTS)の新しいホームページと、利用者登録や課題申請のためのmyPageを公開いたしました。試作コインランドリのご利用が決まりましたら、お手数ですが、手続きをお願いいたします。ご不明な点がありましたらお知らせください。
お問い合わせ先 戸津、森山 メール：shisaku-info_AT_ ml.tohoku.ac.jp （_AT_→＠） 電話：022-229-4113