東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。今回は3年ぶりに現地会場での開催で、懇親会も企画しています。講義はネット配信もしますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用いただければ幸いです。例年通り参加費は無料です。コロナ対策のこともあり、事前のお申し込み（一次締め切り：7月8日）をお願いいたします。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と高松でお会いできるのを楽しみにしております。
日時：2022年8月8日（月）～10日（水）
場所：8日、9日 かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
https://www.symboltower.com/access/ JR高松駅より徒歩3分
10日 香川大学 林町キャンパス 創造工学部3101教室（3号館1階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/ https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/
主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター
共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
参加費：無料
講義資料：冊子は配布せず、MEMSパークコンソーシアムのホームページからダウンロードいただくようにしますので、事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意しますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
お申込みフォーム： https://forms.gle/Xmf2n85HcC88e8YK7
お申込み一次締め切り：7月8日（金）
問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 齋藤哲郎
E-mail: t-saitoh_@_tohoku.ac.jp _@_→@ Tel. 022-229-4113
プログラム
8月8日（月） 場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]
13:00-15:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境) [戸津健太郎(東北大)]
15:10-16:40 集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用 [鈴木裕輝夫(東北大)]
16:40-17:40 香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開 [高尾英邦(香川大)]
8月9日（火） 場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-10:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
10:40-12:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
13:00-14:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大)]
14:40-15:30 Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]
15:30-16:20 MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大)]
16:30-17:30 香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション [寺尾京平(香川大)]
18:00-20:00 懇親会 ※新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に検討した結果、中止とさせてください。大変残念ですが、ご理解を賜りますよう、お願い申し上げます。
8月10日（水） 場所：香川大学 創造工学部3101教室（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）
8:30 受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
13:30-15:00 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]
15:10-16:00 香川大学研究紹介：農業センサプラットフォ－ムの実現に向けたMEMS型維管束センサの開発 [下川房男(香川大)]
16:00-17:00 香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団) 微細加工施設見学
※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定
～8/10終了後の交通手段について～
飛行機：20時前後発の羽田行きの2便に間に合います。
新幹線：JR高松駅に19:00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナ－(約1時間)と新幹線(約3時間)で、その日のうちに東京まで帰れます。
