一年間、ありがとうございました。
試作コインランドリをご利用くださり、誠にありがとうございます。引き続き多くの皆様にご利用いただいており、11月の利用料収入は過去最高となりました。
皆様のお役に立てるように来年も活動してまいりますので、どうぞよろしくお願いいたします。
寒くなってまいりましたが、お体に気を付けていただき、どうか良いお年をお迎えください。
新年1月は、土日祝日の営業日も多くなっていますので、ぜひご利用ください。
第31回マイクロシステム融合研究会
日時: 2021年11月12日（金） 13:00～17:20
開催方法: オンライン（Zoom） 参加無料
主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
申込みフォーム: https://forms.gle/FrBt5RvkDu9M2HV38
【プログラム】 テーマ：光デバイスと応用
13:00～13:10 戸津 健太郎 （東北大学） 「ご挨拶と試作コインランドリの活動報告」
13:10～13:50 高木 康博 （東京農工大学） 「MEMS型空間光変調器を用いたホログラフィックディスプレイの実現法」
13:50～14:30 南條 健 （リコー） 「サスペンションフリー型ミラーアレーデバイスの展開」
14:30～15:10 岩見 健太郎 （東京農工大学） 「誘電体メタサーフェスを利用した可変焦点メタレンズ」
15:10～15:20 休憩
15:20～16:00 杉山 厚志 （浜松ホトニクス） 「超小型波長掃引量子カスケードレーザの開発」
16:00～16:40 小野 明 （光融合技術協会） 「光産業発展のため光融合技術協会ができること」
16:40～17:20 森山 雅昭 （東北大学） 「新規導入のキヤノンi線ステッパFPA-3030i5+の紹介」
EBグレースケール・ワークショップ（講演会）
日時: 2021年10月26日（火） 15:00-17:00
開催方法: オンライン（Zoom）
主催: GenISys株式会社、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
参加費: 無料
申込み先: https://forms.gle/XYru34sr9yP4jhXF8
【プログラム】
15:00 – 16:00
清水 諭（GenISys株式会社）「電子ビーム露光装置による三次元構造物作成のためのドーズ量自動計算ソフトのご紹介」
BEAMERの機能のうち、とくにEBグレースケールのためのドーズ量自動計算の方法について紹介します。
16:00 – 17:00
新関 嵩（Bush Clover株式会社）「電子線描画による三次元構造作成技術」
DOEやマイクロレンズなどの微細な三次元構造を電子線描画装置とBEAMERで作成するための実際の手順や、注意すべき点などを説明します。また、実際の加工例についても紹介します。
緊急事態宣言対象地域からのご利用について
9月16日に東北大学の行動指針（BCP）レベルが2に引き下げられました。緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。
緊急事態宣言対象地域からのご利用について
8/27より宮城県も緊急事態宣言対象地域となりましたが、県内からのご利用はこれまでどおり受け付けております。県外の緊急事態宣言対象地域からのご利用は、宣言解除後までお待ちくださいますようお願い申し上げます。
緊急事態宣言対象地域からのご利用について
明日8/20より、大学のBCPレベルが3に上がります（詳しくはこちら）。大変申し訳ございませんが、緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用はご遠慮ください。既にご予約いただいている利用につきましては、感染防止対策や体調管理を徹底いただいた上でお越しください。試作コインランドリでは、積極的に受託加工を行ってまいりますので、お気軽にご相談ください。どうぞよろしくお願いいたします。
緊急事態宣言対象地域からのご利用について
緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。
第19回MEMS集中講義
毎年恒例のMEMS集中講義を8月2日から4日まで、YouTubeのライブ配信で行います。その後もアーカイブとしてご覧いただけます。詳しくはこちらまで。MEMS パークコンソーシアム｜公開セミナー (memspc.jp)
プログラム
8月2日（月）
9:00-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング) [戸津健太郎]
13:00-15:50 マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価) [戸津健太郎]
16:00-17:30 MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城]
8月3日（火）
9:00-10:30 触覚センサ等ロボット応用とLSI [室山真徳]
10:40-12:10 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COIプロジェクト成果紹介 [吉田慎哉]
13:00-14:30 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]
14:40-15:50 MEMSの新しい話題 [田中秀治]
16:00-17:00 Microsensors based on the stress impedance effect [Joerg Froemel]
8月4日（水）
9:00-10:20 製造検査、環境センサ [小野崇人]
10:30-11:00 Thermoelectric power generator for self-powered systems [Nguyen Van Toan]
11:00-12:00 アンサンブルMEMS 磁気共鳴力顕微鏡（MRFM） [戸田雅也]
13:00-14:00 マイクロ温度センサとその応用～細胞の温度計測～ [猪股直生]
14:00-15:30 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一]
15:40-16:20 Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御 [金森義明]
16:20-17:00 試作コインランドリ紹介 [森山雅昭]
第30回マイクロシステム融合研究会
皆様、ぜひご参加ください。
日時: 2021年7月7日（水）14:00～17:30
開催方法: オンライン（Zoom） 参加無料
主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
申込みフォーム: https://forms.gle/VvDsda91cj2Lnmc89
問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 庄子留美子 Tel.022-305-2351
【プログラム】 テーマ：生体計測のためのガスセンサ、嗅覚センサ
（13:00-13:50 MEMSパークコンソーシアム総会）
14:00-14:40 三林 浩二（東京医科歯科大学）「バイオ蛍光による生体ガス成分の高感度計測とイメージング “ppb～ppt(v/v)ガス成分を選択的・時空間的に捉える”」
14:40-15:20 中本 高道（東京工業大学）「香りの再現と印象予測を行う嗅覚IT技術」
15:20-15:30 休憩
15:30-16:10 都甲 潔（九州大学）「AIと電気化学抵抗変化を用いた人工嗅覚システムの研究開発」
16:10-16:50 申 ウソク（産業技術総合研究所）「ヒトのにおいをかぎ分けるガスセンサ技術」
16:50-17:30 吉川 元起（物質・材料研究機構）「嗅覚センサの総合的研究開発」