自作LSI・装置室 – 東北大学西澤潤一記念研究センター

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ポスター一覧

0 自作集積回路・装置室	1 設計 (1) CAD
2 設計 (2) レイアウト	3 フォトマスク作製、フォトリソグラフィ
4 ウェハプロセス (1) (工程､エッチング)	5 ウェハプロセス (2) (酸化・拡散､CVD)
6 ウェハプロセス (3) (イオン注入､蒸着・スパッタ)	7 ICテスタ
8 試作IC (1)	9 通信速度と遠隔病理診断の進化
10 遠隔医療の革命	11 ハイビジョン動画による遠隔診断デモンストレーション
12 後工程と検査・測定	13 試作IC (2) 並列画像処理、集積化容量型圧力センサ
14 深い反応性イオンエッチング (Deep RIE Reactive Ion Etching)	15 正しいプロセスチャートの書き方
16 Si気相エピタキシャル成長と欠陥の光学的検査(半導体研究振興会)	17半導体研究振興会から西澤潤一記念研究センターへ
18 西澤記念資料室

※「18 西澤記念資料室」は、西澤潤一記念研究センター（マイクロシステム融合研究開発センター）とは異なりますのでご注意ください。

アクセス：〒980-8576仙台市青葉区川内28　東北大学川内キャンパス（入試センター内）

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