ミニテックミュジアム

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ポスター一覧

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0 ミ二テックミュジアム1 フォトマスク作成
2 フォトレジスト塗布とパターニングおよびエッチング3 ウェハ処理(酸化・拡散、イオン注入)
4 化学気相堆積(CVD)と高周波加熱用電源5 物理気相堆積(PVD(蒸着、スパッタリング)) 他
6 組立(ダイシング、ワイヤボンディング)とテスト7 各種真空ポンプ(回転式粗引きポンプ、ターボ分子ポンプ、拡散ポンプ、イオンポンプ、クライオポンプ)
8 真空ゲージと四重極質量分析計9 X線光電子分光装置(XPS)
10 オージェ電子分光装置(AES)11 光学顕微鏡と光測定法
12 光以外の各種測定法13 気体レーザ、光電子増倍管および(赤外線)放射温度計
14 4重ガラス管一体構造のliq.4He/liq.N2 クライオスタットデュワー (1973年~)

カード一覧

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カード一覧(A1~N4)
M1 ガラス製五重の塔
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N1 赤外線アレイセンサ (パナソニック㈱)
N2 3次元LSI (㈱ホンダ・リサーチ・インスティチュート・ジャパン宮川宣明)
N3 押して発電するエネルギハーベスタ式リモコンスイッチ (EnOcean GmpH)
N4 電気泳動表示用薄膜スイッチアレイとオシロメトリック血圧計 ((E-pape, 東京三洋電機 泉田和夫)