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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)

Micro System Integration Center ,Tohoku University(μSIC)
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オープンコラボレーションが研究開発と人材育成を加速させる

MEMS設計・プロセス開発実証拠点 - 東北大学 半導体テクノロジー共創体 -
News & Reports Event
Event

マスクレスリソグラフィー ワークショップ(2025/9/3)

2025年8月14日 by micro-STAFF

マスクレスリソグラフィー ワークショップ 日時:2025年9月3日(水) 13:30‐17:10場所:東北大学西澤潤一記念研究センター 2階 MEMSショールーム参加費:無料主催:東北大学、ハイデルベルグ・インストルメン...

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東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター

[所在地] 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 西澤潤一記念研究センター内
[ Tel ] 022-229-4113
アクセス方法はこちら>>

東北大学 試作コインランドリ

μSICでは、大学の共用施設「試作コインランドリ」を運営しています。当施設には、MEMSを中心とした半導体装置等が150台以上あり、時間単位でご利用いただけます。経験豊富なスタッフによる技術支援も行っております。ぜひ、ご利用ください。(2024年度利用時間累計:約35,000時間)
試作コインランドリのウェブサイト>>

東北大学 西澤潤一記念研究センター展示室

東北大学西澤潤一記念研究センターには近代技術史博物館など5つの展示室があり、エレクトロニクス技術の進化を示す貴重な実機や資料をご覧いただけます。
展示室のウェブサイト>>

東北大学 | 東北大学 試作コインランドリ | 東北大学 西澤潤一記念研究センター 展示室

東北大学コアファシリティ統括センター(CFC)

東北大学 研究基盤利用ポータル

東北大学ナノテク融合技術支援センター

文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業

国際イノベーションコンテスト(iCAN)

MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)

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