東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）では、「東北大学 試作コインランドリ」の装置を活用し、学生や社会人向けの実習研修を受け入れております。
装置やスタッフのスケジュール調整および準備の都合上、実習をご希望の方は、早めにご連絡いただけますよう、お願い申し上げます。（目安：3か月前～）
なお、当施設は大学の共用施設です。他の利用者様と同様に、譲り合ってご利用いただく等、ご理解とご協力を賜りますよう、よろしくお願い申し上げます。
2026年度の実習受け入れについて
実習では、原理・原則の理解を重視し、手作業を中心とした工程を体験します。
フォトリソグラフィ工程では、スピンコータに加工するウェハ（4inchや20mm角）をのせ、シリンジによるレジストの滴下を行うなど、各工程の意味や役割を確認しながら作業を進めます。加工した試料はお持ち帰りいただけます。
詳細資料をご希望の方は担当までお問合せください。
なお、標準的なプログラムでは、1回の受入人数は最大で8名（4名×2グループ）となります。
また、事務手続きに関しましては、本学の共用施設の利用者登録をお願いしております。
2025年度の実績を踏まえ、進行や料金、手続き等を一部見直しました。
実習プログラムのカスタマイズに関するご相談もおうけいたします。お気軽にお問合せください。
＜標準的なプログラム＞
・プロセス実習とMEMSフォースセンサIoTモジュール作製（2日間）
・アルミ配線パターンの形成と抵抗測定（2日間）
参加者の声
・手作業でのプロセス体験をできたことで工数を知ることに繋がると感じた。（社会人）
・プロセス全体を俯瞰してみることができたのがとても有意義だった。（社会人）
・空き時間にMEMSのことを知れて勉強になった。（社会人）
・元々興味はあったけどできていなかったIoTができてハードルが下がった（学生）
・研究室ではやったことのない体験だったので自分の進む方向の選択肢が広がった（学生）
お問合せ
担当：早川
E-mail: masako.hayakawa.b1 ← @tohoku.ac.jpをつなげてください。
Tel. 022-229-4113
