東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)では、半導体研究所(財団法人半導体研究振興会)から東北大学へ2008年に寄贈された建物を活かし、国内最大規模の共用施設「東北大学 試作コインランドリ」(クリーンルーム面積1,800㎡、半導体関連製造装置150台以上)の運営を行っています。
時間単位でご利用いただけます。経験豊富なスタッフによる技術支援も行っております。ぜひ、ご利用ください。
(2024年度利用時間累計:約35,000時間)
Micro System Integration Center ,Tohoku University(μSIC)