マイクロシステム融合研究開発部門ではMEMSを中核に、機械、電気・電子、材料、化学、電気化学、バイオ工学、医学などの様々な技術を融合させた研究を推進しています。
MEMS/マイクロシステムは人間と機械との間をつなぐインターフェースシステムとして広く利用されていますが、システムの複雑化、大規模化が進んでいる今日、よりイノベーティブで高性能なMEMS/マイクロシステムが求められています。
これまでにない機能や性能を実現するために、新しい機能を発現する材料やナノ構造の利用、集積回路との一体化技術など、材料、デバイス、システム、微細加工技術の研究開発を幅広く行う必要があります。学内の関連する研究室と連携しながら、競争的資金による研究や民間との共同研究を進めています。
共同研究の例
触覚センサネットワークシステム
先端融合領域イノベーション創出拠点プログラムにおいて、企業と共同でマルチセンサに対応する信号処理CMOS-LSIと3軸MEMS力覚センサをウエハレベルで一体化する技術を用いて触覚センサシステムを開発しました。ロボットの皮膚表面や指先に人間と同様な触覚機能を持たせることが可能になります。
飲む体温計
カプセル型の体温計デバイスと体外に設置した受信機から構成されます。デバイスは、胃の中に入って胃液と接触すると発電し、内部のキャパシタを充電します。ボタン電池を内蔵しないため、体内でも安全に使用できます。この電気エネルギーを用いて腸内において体温計を駆動させて深部体温を継続的に測定します。測定データは、体外に設置した受信器に無線で送信されます。これにより、健康状態を把握するための重要な指標の 1 つである安静時の基礎体温や、深部体温とその変化（概日リズム）を測定できます。
お問合せ
担当：早川
E-mail: masako.hayakawa.b1 ← @tohoku.ac.jpをつなげてください。
Tel. 022-229-4113