ARIM高度デバイス領域/μSIC合同研究会(半導体デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用)のご案内(2026/3/13)

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)高度デバイス領域との共催で、デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用をテーマとした合同研究会を開催します。先端加工技術や計測データ利活用の最新動向を共有し、デバイス・プロセス開発の高効率化、高度化に向けた課題と展望を議論します。

研究会終了後に交流会も開催いたします。皆様ぜひご参加ください。

案内チラシ(PDF)>>

■開催日間:2026年3月13日(金)13:00~ ※終了後交流会
■会場:RISE GATE NIHONBASHI カンファレンス A
(東京都中央区日本橋室町1丁目7-1 スルガビル7階)
アクセス
■共催:
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)高度デバイス領域/東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)/MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)
■参加費:無料 (交流会参加費2,000円、MEMSPC 会員企業は1 名無料)

■参加申込:以下Google Form の他、事務局あてE-mail、FAX でも受け付けます。(〆切:2026 年 3月6日)
https://forms.gle/3qcFjsiPuyVxqwEY7

■問い合せ先(研究会事務局):
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
大高剛一(koichi.ohtaka.e8)←@tohoku.ac.jpをつなげてください。
早川昌子(masako.hayakawa.b1)←@tohoku.ac.jpをつなげてください。
TEL 022-229-4113 / FAX 022-229-4116

プログラムは↓こちらをご覧ください。
https://mems-pc.jp/openseminar/opense98.html