【8月9日(火)】
10:00-12:00 (2h) マイクロマシニング1
(概論、フォトファブリケーション、エッチング) [江刺]
13:00-15:20 (2.3h) マイクロマシニング2
(堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他) [江刺]
15:30-17:20 (1.8h) 自動車・家電関連
(圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺]
17:20-18:00 (0.7h) 試作コインランドリ
[戸津])
【8月10日(水)】
9:30-10:30 (1h)
接合実装 [高木]
10:30-11:30 (1h) 圧電MEMSデバイス
[小林]
11:30-12:30 (1h) マイクロエネルギ源
[田中]
13:30-15:20 (1.7h) RF関連MEMS (MEMSスイッチ、RFフィルタ) [田中、鈴木]
15:30-17:00 (1.5h) 光関連MEMS (ディスプレイ、光スイッチ、赤外線他イメージャ)[木股]
17:00-18:00 (1h) 産総研UMEMSME(集積マイクロシステム研究センター)とMEMSの課題
[前田]
18:10-20:00 MEMSPCカフェ(交流会)
(18:10-18:30 (0.5h) 講演会
「立命館大学先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター」
[木股] )
(18:30-20:00 (1.5h) 交流会)
【8月11日(木)】
9:30-11:00 (1.5h)
医療
(カテーテル
他) [芳賀]
11:10-12:30 (1.3h) バイオ関連
[西澤]
13:30-15:00 (1.5h) ナノマシニングとナノ構造体
[小野]
15:10-16:10 (1h) マイクロアクチュエータ
[江刺]
16:10-18:00 (1.8h) 製造検査関連
(電子線制御、分析、微量流体制他) [江刺]