2026年6月26日、東北大学西澤潤一記念研究センターにて、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)、MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)の共催にて、「第42回マイクロシステム融合研究会」が開催され約40名が参加しました。
【開催概要】
・日時:2026年6月26日(金)14:00~17:35(終了後交流会)
・会場:東北大学西澤潤一記念研究センター2F MEMSショールーム
(仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176)
・共催:東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)
・参加費:参加無料 (交流会は1,000円/1名、ただしMEMSPC会員企業は1名無料)
【プログラム】
14:00-14:05
主催者挨拶 東北大学μSIC教授 戸津健太郎
14:05-14:55
講演 (株)アルバック先進技術研究所 森川泰宏
講演タイトル「光デバイス向けNLDエッチング技術」
14:55-15:45
講演 住友化学(株)ICT&モビリティソリューション研究所 皿山正二
講演タイトル「GaN結晶成長と結晶加工における課題と進展」
15:45-15:55 休憩
15:55-16:45
講演 (株)Gaianixx 關雅志
講演タイトル「マルテンサイト・エピタキシー」
16:45-17:35
講演 大阪公立大学大学院教授 堀邊英夫
講演タイトル「半導体産業の動向と半導体用レジストの開発」
詳細はこちら
https://www.mems-pc.jp/openseminar/opense99.html






