| F1 小形ガスタービンエンジン発電機 |
| F2 Siマイクロタービンと熱電発電 |
| F3 ロストモールドプロセスによるSiCとPZT, 反応焼結によるSi3N4 |
| F4 マイクロ燃料電池 |
| F5 燃料改質器 |
| F6 ディジタルマイクロスラスタ (固体ロケットエンジンアレイ) |
| F7 静電マイクロモータ・アクチュエータ |
| F8 分布型静電マイクロアクチュエータ |
| F9 圧電マイクロステージ |
| F10 横方向駆動圧電マイクロアクチュエータ |
| F11 触覚ディスプレイと触覚イメージャ |
| F12 マイクロ磁気冷却機 |
| F13 熱型MEMSスイッチ |
| F14 静電・圧電型MEMSスイッチ |
ケースF：Power MEMS, アクチュエータ