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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
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東北大学西澤潤一記念研究センター内
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B2 集積化容量型圧力センサ
B3 振動型圧力センサ
B4 容量型真空センサ
B5 容量型真空センサ製品
B6 MEMSマイクロホン
B7 MEMSマイクロホン ウェハ
B8 耐湿性MEMSマイクロホン
B9 自動車用容量型加速度センサ
B10 表面マイクロマシニング加速度センサウェハ
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