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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ケースA：画像と光MEMS、RF MEMS
A1 赤外線センサ イメージャ
A2 赤外線センサ
A3 2軸ガルバノ電磁光スキャナ
A4 静電・圧電光スキャナ
A5 DMD (ミラーアレイ)
A6 光エンコーダ
A7 圧電型・熱型インクジェットプリントヘッド
A8 静電インクジェットプリントヘッド
A9 MEMS共振子 (米国)
A10 MEMS共振子 (ディスク、Lamb他)
A11 FBAR
A12 SAWデバイスon LSI
A13 可変容量付帯域可変SAWフィルタ
A14 SAWパッシブワイヤレスセンサ
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