＜お問い合わせ先＞
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
HOME
ショールームの紹介
ポスター展示
サンプル展示
お問い合わせ
アクセス
リンク
サンプル展示
ケースC：ジャイロ、マイクロ・ナノマシニング
C1 電磁駆動振動ジャイロ
C2 シリコンリング式ジャイロ
C3 圧電ジャイロ
C4 静電駆動容量検出ジャイロ
C5 ヨーレート・加速度センサ
C6 自動車スマホ他用加速度センサ・ジャイロ
C7 パターニング
C8 エッチング
C9 堆積
C10 走査プローブ顕微鏡(SPM)プローブ
C11 近接場光プローブとボータイアンテナ
C12 薄膜共振子による高感度センサ
C13 マルチプローブ記録
C14 電子源
サンプル展示
ケースA
ケースB
ケースC
ケースD
ケースE
ケースF
ケースG
ケースH
ケースI
ケースK
ケースL
ケースN
ケースC：ジャイロ、マイクロ・ナノマシニング