仙台MEMSショールーム

サンプル展示

ケースE：マイクロ流体、ヘテロ集積化、耐環境デバイス

E1　LIGAプロセス

E2　レーザプロセスとステルスダイシング

E3　陽極接合

E4　陽極接合できるLTCC貫通配線基板

E5　接合材料

E6　乗り合いCMOSLSIウェハ

E７　レーザ消去ウェハプロセス

E8　超並列電子ビーム描画装置

E9　液体用マイクロポンプとマイクロバルブ・化学分析システム

E10　マイクロミキサーと粒子分析

E11　気体用フローセンサ・マスフローコントローラ

E12　ベーカブルマイクロバルブ・耐蝕マスフローコントローラ

E13　耐環境センシング

E14　ガラス成形のための炭化珪素(SiC)モールド