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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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ケースI：IMEC
I1 poly-SiGeのMEMSセンサ応用
I2 poly-SiGeを用いたCMOS IC上のMEMSジャイロ
I3 CMOSIC上SiGeミラーアレイ
I4 CMORE SiGeMEMS マルチプロジェクトウェハ
I5 ホログラフィックディスプレイ
I6 エネルギハーベスタ用MEMSと電子嗅覚
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