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東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター内
Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116
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MEMS
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ケースD:医用マイクロセンサ（低侵襲医療）と流体制御
ケースE:ヘテロ集積化
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