１．経緯
平成17年に締結された仙台市とフラウンホーファー研究機構との協力協定の一環として、平成18年度より泉区の㈱メムス・コア内に「仙台ＭＥＭＳショールーム」を設置し、メムス・コア、仙台市、フラウンホーファー日本代表部、東北大学大学院工学研究科による四者で運営を行ってきました。
平成22年より、東北大学マイクロシステム融合研究開発センターがある東北大学西澤潤一記念研究センター内にＭＥＭＳ試作開発拠点である「試作コインランドリ」が稼動し、国内のＭＥＭＳ技術者による利用が増えてきたことから、ショールームを同センター内に移設し、ＭＥＭＳの拠点として情報提供を行っています。
２．施設概要
(1) 設置機関：ＭＥＭＳパークコンソーシアム、仙台市、フラウンホーファー日本代表部、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
(2) 場所：東北大学西澤潤一記念研究開発センター本館2階 （宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176）
(3) 面積：約100㎡
(4) 開所日：平成24年5月16日（水）
(5) 特徴：
・展示内容を一新し、東北大学におけるＭＥＭＳ研究の歴史や、各研究室における最先端の研究内容を展示します。また、東北大学と関係の深い海外研究機関や地域のＭＥＭＳ関連企業の研究開発成果も展示し、仙台地域のみならず、世界のＭＥＭＳの歴史や最新技術、特に研究開発から実用化に至る流れを一目で把握することができます。
・ショールーム内にスクリーンを設置し、「マイクロシステム融合研究会」などの小規模セミナーを実施することができます。
・展示ポスターや紹介カードは日英どちらも用意しております。
「ポスター一覧」または「カード一覧」から、ご覧になりたい項目（PDF）をクリックしてください。
ポスター一覧
カード一覧
| カード一覧（A1～N4全ての一覧です） |
| A1～A14のダウンロードはこちら>> A1 赤外線センサ・イメージャ A2 赤外線センサ A3 2軸ガルバノ電磁光スキャナ A4 DMD (Digital Micromirror Device) (TI (テキサス・インスツルメンツ) 米国) A5 DMD (Digital Micromirror Device) による映画のディジタル上映化 A6 光エンコーダ (NTT) A7 圧電型・熱型インクジェットプリンタヘッド A8 静電インクジェットプリンタヘッド A9 MEMS共振子 (米国) A10 MEMS共振子 (ディスク、Lamb波 他) A11 FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) 薄膜バルク音響波共振子 A12 LSI上のSAWデバイス (集積回路上の表面弾性波素子) A13可変容量付帯域可変SAWフィルタ A14 SAWパッシブワイヤレスセンサ |
| B1～B14のダウンロードはこちら>> B1 ピエゾ抵抗型圧力センサ B2 集積化容量型圧力センサ B3 振動型圧力センサ (横河電機) B4 容量型真空センサ B5 容量型真空ｾﾝｻ製品 (キャノンアネルバ,大亜真空) B6 MEMSマイクロホン B7 MEMSマイクロホン ウェハ (日清紡ﾏｲｸﾛﾃﾞﾊﾞｲｽ) B8 耐湿性MEMSマイクロホン B9 自動車用容量型加速度センサ B10 表面マイクロマシニングによる加速度センサウェハ(アナログデバイス米国) B11 各種加速度センサ B12 集積化容量型加速度センサ B13 3軸加速度センサ B14 静電浮上回転ジャイロ |
| C1～C14のダウンロードはこちら>> C1 電磁駆動振動ジャイロ C2 シリコンリング式ジャイロ C3 圧電ジャイロ C4 静電駆動容量検出ジャイロ C5 ヨーレート・加速度センサ (トヨタ自動車) C6 自動車・スマホ他用 加速度センサ・ジャイロ C7 パターニング C8 エッチング (Deep RIE, XeF2エッチング, エッチング中厚さモニタ) C9 堆積 C10 走査プローブ顕微鏡(SPM)プローブ C11 近接場光プローブとボータイアンテナ C12 薄膜共振子による高感度センサ C13 マルチプローブ記録 C14 電子源 |
| D1～D14のダウンロードはこちら>> D1 生体電位検出用電極 D2 半導体イオンセンサ (ISFET) D3 カテーテルpH, CO2センサ D4 間欠・連続血液ガスモニタ D5 ISFETの歯学・深海・魚飼育等への応用 D6 マイクロISFETと集積化マイクロプローブ D7 ガスセンサ D8 使い捨て化学分析チップ D9 バイオLSIと触覚センサネットワーク (先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム) D10 カテーテル血圧センサ D11 能動カテーテル D12 形状記憶合金を用いた多関節運動機構 D13 低侵襲医療のイメージング技術 D14 体内埋込刺激装置 |
| E1～E14のダウンロードはこちら>> E1 LIGAプロセス E2 レーザプロセスとステルスダイシング E3 陽極接合 E4 陽極接合できるLTCC貫通配線基板 (ニッコー) E5 接合材料 (WPI-AIMR, ﾌﾗｳﾝﾎｰﾌｧENAS – 東北大) E6 乗り合いCMOS LSIウェハ (先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム) E7 レーザ消去ウェハプロセス E8 超並列電子ビーム描画装置 (MPEBW)(最先端研究開発支援プログラム (FIRST)) E9 液体用ﾏｲｸﾛﾎﾟﾝﾌﾟとﾏｲｸﾛﾊﾞﾙﾌﾞ・化学分析ｼｽﾃﾑ E10 マイクロミキサと粒子分析 (日立) E11 気体用フローセンサ・マスフローコントローラ E12 ベーカブルマイクロバルブ、耐蝕ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ E13 耐環境センシング E14 ガラスプレス成形のための炭化珪素(SiC)モールド |
| F1～F14のダウンロードはこちら>> F1 小形ガスタービンエンジン発電機 F2 Siマイクロタービンと熱電発電 F3 ﾛｽﾄﾓｰﾙﾄﾞﾌﾟﾛｾｽのSiCとPZT, 反応焼結のSi3N4 F4 マイクロ燃料電池 F5 マイクロ燃料改質器 F6 ディジタルマイクロスラスタ (固体ﾛｹｯﾄｴﾝｼﾞﾝｱﾚｲ) F7 静電マイクロモータ・アクチュエータ F8 分布型静電マイクロアクチュエータ F9 圧電マイクロステージ F10 横方向駆動圧電マイクロアクチュエータ F11 触覚ディスプレイと触覚イメージャ F12 マイクロ磁気冷却機 F13 熱型MEMSスイッチ F14 静電・圧電型MEMSスイッチ |
| G1～G4のダウンロードはこちら>> G1 波長掃引パルス量子カスケードレーザ (浜松ホトニクス㈱) G2 光学式溶融樹脂温度・圧力センサ (長野計器㈱) G3 静電容量型微差圧センサ「マノスター」(㈱山本電機製作所) G4 SEMI MEMSセミナー10周年 |
| H1～H7のダウンロードはこちら>> H1 東北大学とベルギーIMEC (Interuniversity Micro Electronics Center) H2 Poly-SiGeのMEMSセンサ応用 H3 Poly-SiGeを用いたCMOS IC上のMEMSジャイロ H4 CMOS IC上SiGeミラーアレイ H5 CMORE SiGeMEMS マルチプロジェクトウェハ H6 ホログラフィック ディスプレイ H7 エネルギハーベスタ用MEMSと電子嗅覚 |
| I1～I2のダウンロードはこちら>> I1 圧電・静電光スキャナ I2 ピロリ菌ウレアーゼ測定器 |
| N1～N4のダウンロードはこちら>> N1 赤外線アレイセンサ (パナソニック㈱) N2 3次元LSI (㈱ﾎﾝﾀﾞ･ﾘｻｰﾁ･ｲﾝｽﾃｨﾁｭｰﾄ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ宮川宣明) N3 押して発電するエネルギハーベスタ式リモコンスイッチ (EnOcean GmpH) N4 電気泳動表示用薄膜ｽｲｯﾁｱﾚｲとオシロメトリック血圧計 ((E-pape, 東京三洋電機 泉田和夫) |