東北大学マイクロシステム融合研究開発センターとMEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）では、情報共有やネットワーク形成を目的として、半導体/ MEMSに関連する材料、プロセス、システムなどの話題で研究会を定期的に開催しています。
第43回目となる今回は光MEMS/ミラーデバイスをテーマに下記要領で開催いたします。
終了後簡単な交流会も企画しております。皆様ぜひご参加ください。
【開催概要】
・日時：2026年10月2日（金）13:45〜17:20（終了後交流会）
・会場：東北大学西澤潤一記念研究センター2F MEMSショールーム
（仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176）
・共催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
・参加費：参加無料 （交流会は1,000円／1名、ただしMEMSPC会員企業は1名無料）
・お申込みフォーム（参加申込〆切：2026 年9月29日）
https://forms.gle/p44A7Vo9yiFPweGC9 (Googleフォームを使用しています。)
※Google Form の他、事務局あてE-mail、FAX でも受け付けます。
【プログラム】
13:45-13:50
主催者挨拶 東北大学μSIC教授 戸津健太郎
13:50-14:40
講演 日本信号（株）山田 博隆
講演タイトル「MEMS光スキャナ”ECO SCAN”と社会実装」
14:40-15:30
講演 （株）リコー 橋口 強
講演タイトル「(仮) 2軸圧電MEMSミラーの構造設計と長期信頼性」
15:30-15:40
休憩
15:40-16:30
講演 Silicon Austria Labs GmbH 佐々木敬 (on-line)
講演タイトル「（仮）圧電駆動型光MEMSスキャナー」
16:30-17:20
講演 豊田工業大学教授 佐々木 実
講演タイトル「光関連技術とMEMS（近年の歩み）」
<お問い合わせ先＞
・研究会事務局：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 大高剛一/早川昌子
・E-mail：koichi.ohtaka.e8● ／masako.hayakawa.b1●
※●より後ろを@tohoku.ac.jpに変えてください。
・TEL：022-229-4113