今回で23回目となるMEMS集中講義は、東京大学の三宅先生および川崎市のご協力のもと、かわさき新産業創造センター AIRBICにて開催されました。講義は現地での対面形式に加え、YouTubeによるオンライン配信も行われ、現地参加者約50名、オンラインを含めると100名以上の方々にご参加いただきました。
初日には、当センターの戸津健太郎教授より、これまでの受講者数や講義の歩みについて紹介があり、その後、フォトリソグラフィーやエッチングなどMEMS・半導体プロセスの概論が展開されました。講義中には、参加者からの熱心な質問も多く、活発な学びの場となりました。
また、参加者の中には、約10年前にiCAN’13（国際イノベーションコンテスト国内予選）に出場していたという方もおられ、当時は学生、現在は装置エンジニアとして活躍されているとのことでした。MEMS教育の継続的な成果を感じるエピソードとなりました。
ご参加いただいた皆様、誠にありがとうございました。
また、開催にあたりご尽力いただきました東京大学 三宅先生ほか関係者の皆様に、心より御礼申し上げます。
●開催概要
・日時：2025年8月19日～21日
・場所：かわさき新産業創造センター AIRBIC 1階 会議室（川崎市幸区新川崎7-7）
・主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
・共催：４大学ナノマイクロファブリケーションコンソーシアム、東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
・協賛：川崎市
・参加費：参加無料 （交流会は有料）
●プログラム
【8月19日(火)】 9:00受付開始
9:30-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎（東北大学）]
13:00-16:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎（東北大学)]
16:10-18:00 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)]
【8月20日(水)】 8:30受付開始
9:00-10:20 研究紹介、NANOBICや川崎市の活動紹介（仮） [三宅亮(東京大)、川崎市担当者]
10:30-12:30 加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ [塚本貴城(東北大)]
13:30-15:00 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]
15:10-17:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]
17:30-19:00 交流会 (AIRBIC 1階レストランを予定)
【8月21日(木)】 8:30受付開始
9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]
13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)]
15:10-16:40 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]
16:50-17:40 メタレンズ・6G用メタマテリアル [金森義明(東北大)]
