日時 : 8月5日(木)、6日(金)、7日(土) 9:40 (初日 10:00) ～ 18:00
見学会 (産総研東事業所) 5日 18:00 ～ 19:00
MEMSPCカフェ (交流会)　6日 18:00 ～20:00
場所 : MEMS集中講義　　産総研つくば中央 共用講堂 (1階講堂) （定員 400名
　　　 MEMSPCカフェ　　　産総研つくば中央 共用講堂 (1階多目的室　ホワイエ)
主催 : MEMSPC (MEMSパークコンソーシアム)、東北大μSIC (マイクロシステム融合研究開発センター)、産総研集積マイクロシステム研究センター
共催 ：東北大MNC (マイクロ・ナノマシニング研究教育センター)、東北大ナノテク支援センター
参加 : 無料 (交流会参加費はMEMSPC会員以外、一般4000円、学生2000円) 冊子とCD無料配布
申込不要直接参加可、なお送迎バス、見学会、MEMSPCへのご参加、8/7の昼食弁当希望される方は事務局 (memspc ＠ mems.mech.tohoku.ac.jp)
（＠を半角に変更し、前後のスペースを削除してください)
にお申込みください。
【8月5日(木)】
10:00-10:10 挨拶　[一村　産総研理事]
10:10-12:40 マイクロマシニング１ (概論、フォトファブリケーション、エッチング) 　[江刺]
13:30-16:00 マイクロマシニング２ (堆積、接合、複合プロセス、パッケージング他) [江刺]
16:10-17:40 ナノインプリント、接合、センサネット、ピエゾMEMS [高橋、高木、岡田、小林]
18:00-19:00 見学会 (産総研東事業所MEMS施設)
【8月6日(金)】
9:40-12:10 情報・通信 関連 (ディスプレイ、光スイッチ、印刷、通信) [羽根、田中]
13:10-13:50 圧電共振子とRFフィルタ [橋本千葉大　教授]
14:00-14:50 マイクロエネルギ源 [田中]
15:00-17:00 自動車・家電関連 (圧力、加速度センサ・ジャイロ他) [江刺]
17:00-18:45 MEMSビジネスモデルと課題 [戸津、前田]
18:00-20:00 MEMSPCカフェ
18:00-18:30 講演「産総研の進めるグリーンイノベーション」矢部　産総研理事
18:30-20:00 交流会
【8月7日(土)】
9:40-11:40 医療・バイオ関連 (カテーテル、検体検査 他) [芳賀、西澤]
11:40-12:40 マイクロアクチュエータ [江刺]
13:40-14:40 ナノクリスタルSi [越田 東京農工大　教授]
14:40-16:00 ナノマシニングとナノ構造体 [小野]
16:10-18:00 製造検査　関連 (電子線制御、分析、微量流体制他) [江刺]