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お知らせ

<展示のお知らせ(2017/6/1)>
2017年6月1日〜7月28日まで仙台合同庁舎にて「新しい社会をつくる次世代エレクトロニクス(東北大学・山形大学)」の展示を行っています。詳しくはこちら


<更新のお知らせ(2017/3/31)>
2017年4月1日より試作コインランドリ使用料を改定いたします。新料金表(PDF)


<受賞のお知らせ(2017/3/28)>
森山雅昭助手が第8回集積化MEMSシンポジウムで優秀論文賞を受賞しました。詳しくはこちら


<お知らせ(2017/3/3)>
2017年4月以降の青葉山連絡バス(無料)が増便されます。4月以降のアクセス方法はこちらからご確認ください。


<受賞のお知らせ(2016/11/1)>
鈴木裕輝夫助教が第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムで優秀技術論文賞を受賞しました。詳しくはこちら 日経テクノロジーオンラインに掲載されました。


4インチ、6インチのMEMSを中心とした半導体試作開発ラインをご利用ください

<試作コインランドリとは>
MEMSを中心とした各種半導体試作開発に関わる4/6インチラインを企業などに開放し、実用化を支援しています。共用の設備で、利用者は必要な時に必要な装置を利用できます。技術は保有しているが、適当な試作開発設備が無くて困っている企業等が人材を派遣して自ら試作を行うことで、開発のコスト、リスクを軽減できると考えています。また、実際の経験を持つ技術者も育成できます。

<主な装置>
パターンジェネレータ(マスク作製)、露光機、酸化炉、拡散炉、LP-CVD(poly-Si,SiO2,SiN)、PE−CVD(SiO2,SiN)、スパッタ装置、蒸着装置、Si-DeepRIE装置、接合装置、ダイサ、その他(洗浄、フォトリソ、ウェットエッチング、評価に関する装置等) 詳しくはこちらをご覧ください。

<技術>
大学にこれまで蓄積されたノウハウにアクセス可能です。さらに、センターの職員が装置の操作方法を指導するなど、試作開発を最大限支援いたします。

<費用>
装置利用、技術支援について、利用時間に応じて課金いたします。料金表はこちらです。また、消耗品を使われた場合は相当額を承ります。

最新情報&更新情報

2017.6.1 展示のお知らせを更新いたしました。
2017.3.31 料金表を更新しました。
2017.3.28 受賞のお知らせを更新いたしました。
2017.3.3 2017/4/1以降のアクセス方法を掲載いたしました。
2016.11.1 受賞のお知らせを更新しました。
2016.3.31 料金表を更新しました。
2015.11.17 12/6以降の西澤センターへのアクセス方法を掲載いたしました。
2015.6.18 記事掲載についてご案内を掲載しました。
2015.2.6 受賞のお知らせを更新しました。