東北大学マイクロシステム融合研究開発センターは、文部科学省 科学技術振興調整費、先端融合領域イノベーション創出拠点の形成プログラムとして2007年から10年間実施した「マイクロシステム融合研究開発拠点」（研究統括
小野崇人教授)、および2010年から実質4年で始まった「最先端研究開発支援」プログラムにおける「マイクロシステム融合研究開発」（中心研究者 江刺正喜教授）推進のため、2010年に設置されました。
前者では16社の企業との産学連携で、「乗り合いウェハ」などにより、高付加価値の「集積化MEMS」を開発してきました。一方後者では産総研などと協力し、「ヘテロ集積化」「試作コインランドリ」「超並列電子線描画装置開発」に取り組んで、産業につながる研究開発を行ってまいりました。これらの成果として、製品化、ベンチャー企業創出、試作開発プラットフォーム創出、さらなる大型共同研究推進のほか、数多くの人材を産業界や学界に輩出しました。現在、センターは２つの部門で構成されています。マイクロシステム融合研究開発部門では、主に企業との共同研究・受託研究、国の研究開発プロジェクトを推進しています。オープンコラボレーション部門では、この分野で国内最大規模の共用設備である「試作コインランドリ」の運営を行っています。これまでの取組を基盤として、微細加工を応用したデバイス、マイクロシステムの研究開発を加速させて社会のニーズに応えてまいります。とくに多様な産学連携によって、実用化や人材育成を推進したいと考えておりますので、どうぞよろしくお願いいたします。
戸津 健太郎
