第33回マイクロシステム融合研究会

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。

日時：　2023年3月24日(金)　 13：00～17：30

開催方法：　オンライン（Zoom）

主催：　東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

参加費：無料

詳細・申込み: https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA

　　　　　(ここから入れない場合はブラウザにコピーアンドペーストしてみてください)

■配信用のURLは詳細決まりましたら、お申込みの方々へメールにてご連絡いたします。

■詳細はこちらをご覧ください。

http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html

問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　

庄子 留美子  E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp　TEL 022-305-2351

【プログラム】

13：00～13：40　関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」

13：40～14：20　渡邉 陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」

14：20～15：00　花城 秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」

～休　憩～

15：10～15：50　平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」

15：50～16：30　竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」

16：30～17：10　佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」

17：10～17：30　戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」

2022年12月より料金改定のお知らせ

電気料金等の光熱水費や材料費の値上げに伴い、年度の途中ですが、12月ご利用分より、施設利用料、装置利用料、消耗品費を改定致します。新しい料金表は以下からダウンロード下さい。

電気料金は昨年度平均に比べ24%増加していたところに、12月分からは更に25%以上の単価値上がりとなります。重油の単価も昨年度平均より16%増えております。5～15％程度の値上がりとなりますが、ご理解賜りますよう、どうかよろしくお願いいたします。

　2022年12月～2023年3月末（予定）
　　施設利用料、装置利用料
　　消耗品

西澤記念資料室（川内）　西澤先生ゆかりの品の展示を公開

企画展示　2022年9月30日～11月3日まで 　期間中は毎日公開（休みなし）　10:00-16:00　見学無料

西澤潤一先生（東北大学第17代総長）ゆかりの品の展… | プレスリリース・研究成果 | 東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

西澤記念資料室を西澤先生のご家族と大野総長が見学 | ニュース | 東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-

青葉山連絡バス再開

10月3日、地下鉄青葉山駅と西澤センター間の連絡バス（無料）が再開されます。ぜひご利用ください。

青葉山駅（南1）　9：20　→　西澤センター　9：31

青葉山駅（南1）　13：28　→　西澤センター　13：39

西澤センター　13：45　→　青葉山駅（南1）13：56

西澤センター　18：40　→　青葉山駅（南1）18：51

詳細はこちら

NMFS

微細パターン形成に関するシンポジウムを9月7日～9日、東北大学にて開催します。初日は講演、2日目、3日目は試作コインランドリにおける実習です。参加費無料です。皆様、ぜひ、ご参加ください。

半導体加工技術を応用して微細パターンを形成するナノマイクロファブリケーションは、半導体のみならずセンサや微小光学部品などの幅広いデバイス作製に欠かせない技術です。その要であるリソグラフィ技術のほか、エッチング、成膜、インプリント、めっきなど、様々な技術が複合的に用いられますが、加工装置や計測装置の進歩により、その応用範囲が拡大しています。本シンポジウムでは、デバイス分野の研究開発を加速させることを目的として、最新の加工装置や計測装置で可能となるナノマイクロファブリケーションに関する講演とハンズオンの実習を行います。

<日程> 2022年9月7日(水)~9日(金)
<主催> Nano-Micro Fabrication Symposium実行委員会
<共催> 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
<会場> 東北大学環境科学研究科本館/西澤潤一記念研究センター
<対象分野> ナノ/マイクロファブリケーションに関わる技術全般　

<プログラム>

9月7日 Seminar 環境科学研究科本館　講演：2階大講義室　技術展示：1階展示スペース

10:30　　　　開会挨拶　
10:40-11:30　基調講演
　　     　　　東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センター 矢代 航 教授
　　　　　　　「微細加工のX線・中性子イメージングへの応用」
11:30-12:30　休憩（近隣で昼食をとられる方へご案内 https://goo.gl/maps/gasRnzTM5R18eZBRA ）
12:30-17:00　講演、技術展示
　12:30-12:50　アメテック株式会社
　12:50-13:10　パーク・システムズ・ジャパン株式会社
　13:10-13:30　SIJ Technology, Inc.
　13:30-14:10　～ネットワーキングブレーク（技術展示見学）～
　14:10-14:30　ミカサ株式会社
　14:30-14:50　株式会社ティ・ディ・シー
　14:50-15:10　住友精密工業株式会社
　15:10-15:30　GenlSys株式会社
　15:30-15:50　ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
　16:00-16:50　展示会ブースツアー
　16:50　　　　閉会挨拶
　技術展示：上記講演企業に加えて、日東電工株式会社

9月8日 Hands-on Workshop -Basic-　西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置、EB描画装置、BEAMER、Zygo、膜厚測定機能付きスピンコータ、サブフェムトインクジェット、AFMなど、メーカーのご協力により8コースを用意しています。
10時～17時を2時間ごとに3つのセッションに分けていますので、最大3つのコースへの参加が可能です。

9月9日 Hands-on Workshop -Advanced-　西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置によるグレイスケール露光（DOE、マイクロレンズアレイ）、EB描画装置によるBEAMER補正パターンの露光

Hands-on Workshopのプログラム 8月19日現在(PDF)

お申込みなどの詳細→　NMFS ホームページ

MEMS集中講義を高松で開催

8月8日～9日、香川大学の皆様のご協力により、高松で開催いたしました。現地参加20名、オンライン参加260名と多くの皆様にご参加いただきました。ありがとうございました。引き続きYouTubeにてアーカイブ配信を行っています。

オンライン講演会のご案内

“Nanocoatings are the future”

－A look at advanced coating technology－　Mr. Michael Robinson, Consultant, Italy

2022年7月28 日（木）　16:00-18:00

自動車の外装に応用されたナノコーテイングを具体例として取り上げながら、デザイナーとしての視点で、以下のポイントについて彼の見解を示します；

＊今日の光学膜コーテイング

＊ナノテクノロジー

＊ナノマテリアル　－ スマートマテリアル

＊バイオナノテクノロジー　－ バイオナノマシン　－ バイオナノセンサー

＊MEMS対NEMS

＊MOEMS対NOEMS

＊ナノチップ

＊ナノボット

参加申込方法：

参加希望者は、ご芳名、貴社名、ご所属、役職、所在地、連絡先、Ｅメールをお知らせください。

参加申し込み先　-光融合技術協会理事　小野明　akira.ono1257_@_gmail.com　（_@_ を@に変換してください。）

MS Teams参加URLをお送りします。

MEMS集中講義（懇親会中止のお知らせ）

8月8日～10日にかけて高松でMEMS集中講義を行いますが、2日目の夜に企画しておりました懇親会は中止とさせていただきます。新型コロナウイルスの急速な感染拡大の状況に対して、主催関係者で慎重に検討した結果です。大変残念ですが、ご理解を賜りますよう、お願い申し上げます。

第20回MEMS集中講義のご案内

第32回マイクロシステム融合研究会

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第32回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。

今回は、アイデアを製品などの形にしたり、デバイスの完成度を高める「プロトタイピング」や、「起業支援」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。

日時：　2022年7月12日(火)　　14：00～17：10

開催方法：　オンライン（Zoom）

主催：　 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

参加費：　無料

申込みフォーム： https://forms.gle/1JgdWEGUyRCnjvKN6

問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　庄子 留美子  TEL 022-305-2351

【プログラム】

2022年7月12日(火)　

14：00～14：30　名高 新悟（株式会社名高精工所）「「京都を試作する」京都試作ネットの取り組み」

14：30～15：00　浅田 七星（合同会社DMM.com）「DMM.make AKIBAの取り組み（仮題）」

15：00～15：30　対馬 登（岩手大学）「岩手大学学内カンパニーの取組み（仮題）」

　　　　　　　　　休　憩

15：40～16：10　 大網 拓真（FabLab SENDAI – FLAT）「ローカルな工房のネットワークと協働について」

16：10～16：40　小山田 有裕（株式会社MAKOTO）「東北大学スタートアップガレージから見る学生起業家支援とプロトタイピング」

16：40～17：10　宮口 裕（東北大学）「東北大学プロトタイプラボの紹介と飲込みセンサ開発」