東北大学西澤潤一記念研究センター内
| 自作LSI・装置室 | 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176 東北大学西澤潤一記念研究センター内 Tel: 022-229-4113 Fax: 022-229-4116  |
ポスター展示
ポスター一覧 (ご覧になりたい項目をクリックしてください）
| ポスター配置図 |
| 〔1〕設計 |
| 〔2〕フォトマスク製作とフォトリソグラフィ工程 |
| 〔3〕ウェハプロセス |
| 〔4〕後工程と検査・測定 |
| 〔5〕LSIテスタ |
| 〔6〕試作LSI（チャネル長10μn、集積度1000Tr/chip） |