第20回MEMS集中講義

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に収集できます。20回目となる今回は香川大学と協力して高松で行います。香川大学と東北大学は、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）において、筑波大学、豊田工業大学とともに「高度デバイス」という同一の重要技術領域に属し、MEMSなどのデバイスに関する研究開発支援を協力して推進しています。今回の集中講義はその活動の一環でもあり、初めての四国開催となります。今回は3年ぶりに現地会場での開催で、懇親会も企画しています。講義はネット配信もしますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場としても活用いただければ幸いです。例年通り参加費は無料です。コロナ対策のこともあり、事前のお申し込み（一次締め切り：7月8日）をお願いいたします。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様と高松でお会いできるのを楽しみにしております。

日時：2022年8月8日（月）～10日（水）

場所：8日、9日　かがわ国際会議場（高松シンボルタワー6階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）

　　　　　https://www.symboltower.com/access/　JR高松駅より徒歩3分

　　　10日　香川大学 林町キャンパス　創造工学部3101教室（3号館1階）（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）

　　　　　https://www.kagawa-u.ac.jp/access/hayashi/　https://www.kagawa-u.ac.jp/20733/

主催：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム、香川大学微細構造デバイス統合研究センター

共催：東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

参加費：無料

講義資料：冊子は配布せず、MEMSパークコンソーシアムのホームページからダウンロードいただくようにしますので、事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意しますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。

お申込みフォーム： https://forms.gle/Xmf2n85HcC88e8YK7

お申込み一次締め切り：7月8日（金）

問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　齋藤哲郎

E-mail: t-saitoh_@_tohoku.ac.jp 　_@_→@ Tel. 022-229-4113

プログラム

8月8日（月）　場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）

8:30　受付開始

9:00-12:00　マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜) [戸津健太郎(東北大)]

13:00-15:00　マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境) [戸津健太郎(東北大)]

15:10-16:40　集積化MEMS、マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用 [鈴木裕輝夫(東北大)]　

16:40-17:40　香川大学研究紹介：シリコン集積化MEMS技術と触覚センシングへの展開 [高尾英邦(香川大)]

8月9日（火）　場所：かがわ国際会議場（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）

8:30　受付開始

9:00-10:30　IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)]

10:40-12:00　MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)]

13:00-14:30　MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ) [塚本貴城(東北大)]　

14:40-15:30　Beyond 5G/ 6G に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)]

15:30-16:20　MEMS実装・パッケージング技術 [日暮栄治(東北大)]

16:30-17:30　香川大学研究紹介：微細構造デバイスによる細胞・分子マニピュレーション [寺尾京平(香川大)]

18:00-20:00　懇親会　※新型コロナウイルスの急速な感染拡大に対して、主催関係者で慎重に検討した結果、中止とさせてください。大変残念ですが、ご理解を賜りますよう、お願い申し上げます。

8月10日（水）　場所：香川大学 創造工学部3101教室（YouTubeライブ配信、アーカイブ配信あり）

8:30　受付開始

9:00-12:30　製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)]

13:30-15:00　医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)]

15:10-16:00　香川大学研究紹介：農業センサプラットフォ－ムの実現に向けたMEMS型維管束センサの開発 [下川房男(香川大)]

16:00-17:00　香川大学、FROM香川(かがわ産業支援財団)　微細加工施設見学

　　　　　　　※FROM香川の施設見学は遠隔モニタを利用する予定

～8/10終了後の交通手段について～

飛行機：20時前後発の羽田行きの2便に間に合います。

新幹線：JR高松駅に19:00位までに移動すると、高松・岡山を繋ぐマリンライナ－(約1時間)と新幹線(約3時間)で、その日のうちに東京まで帰れます。

クリーンルームユーティリティ設備の復旧（4/19(火)）

開放冷却塔の工事が完了しました。本日より冷水が製造できるようになり、クリーンルームの空調、プロセス冷却水の制御が可能となりました。酸化拡散炉、LPCVDなど高温になる装置について、動作確認を進めております。そのほかの装置の多くはご利用いただけますので、ぜひ使ってください。

＜クリーンルームユーティリティ設備の復旧状況＞

受電設備：4/13に復旧しました。

排気設備：4/14に復旧しました。

空調設備：4/19に復旧しました。

スタッフ一同、皆様のご利用をお待ちしております。

CINTSの新HP・myPage 公開 4/7

ナノテク融合技術支援センター(CINTS)の新しいホームページと、利用者登録や課題申請のためのmyPageを公開いたしました。試作コインランドリのご利用が決まりましたら、お手数ですが、手続きをお願いいたします。ご不明な点がありましたらお知らせください。

CINTSの新しいホームページ

利用者登録、課題申請のmyPage

利用者登録、課題申請の方法

お問い合わせ先　戸津、森山 　メール：shisaku-info_AT_ ml.tohoku.ac.jp　（_AT_→＠）　電話：022-229-4113

一年間、ありがとうございました。

試作コインランドリをご利用くださり、誠にありがとうございます。引き続き多くの皆様にご利用いただいており、11月の利用料収入は過去最高となりました。

皆様のお役に立てるように来年も活動してまいりますので、どうぞよろしくお願いいたします。

寒くなってまいりましたが、お体に気を付けていただき、どうか良いお年をお迎えください。

新年1月は、土日祝日の営業日も多くなっていますので、ぜひご利用ください。

第31回マイクロシステム融合研究会

日時: 2021年11月12日（金） 13:00～17:20

開催方法: オンライン（Zoom）　参加無料

主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

申込みフォーム: https://forms.gle/FrBt5RvkDu9M2HV38

【プログラム】　テーマ：光デバイスと応用

13:00～13:10　戸津 健太郎 （東北大学）　「ご挨拶と試作コインランドリの活動報告」

13:10～13:50　高木 康博 （東京農工大学）　「MEMS型空間光変調器を用いたホログラフィックディスプレイの実現法」

13:50～14:30　南條 健 （リコー）　「サスペンションフリー型ミラーアレーデバイスの展開」

14:30～15:10　岩見 健太郎 （東京農工大学） 「誘電体メタサーフェスを利用した可変焦点メタレンズ」

15:10～15:20　休憩

15:20～16:00　杉山　厚志 （浜松ホトニクス）　「超小型波長掃引量子カスケードレーザの開発」

16:00～16:40　小野 明 （光融合技術協会） 「光産業発展のため光融合技術協会ができること」

16:40～17:20　森山 雅昭 （東北大学）　「新規導入のキヤノンi線ステッパFPA-3030i5+の紹介」

EBグレースケール・ワークショップ（講演会）

日時: 2021年10月26日（火）　15:00-17:00

開催方法: オンライン（Zoom）　

主催: GenISys株式会社、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

参加費: 無料

申込み先: https://forms.gle/XYru34sr9yP4jhXF8

【プログラム】

15:00 – 16:00

清水 諭（GenISys株式会社）「電子ビーム露光装置による三次元構造物作成のためのドーズ量自動計算ソフトのご紹介」

BEAMERの機能のうち、とくにEBグレースケールのためのドーズ量自動計算の方法について紹介します。

16:00 – 17:00

新関 嵩（Bush Clover株式会社）「電子線描画による三次元構造作成技術」

DOEやマイクロレンズなどの微細な三次元構造を電子線描画装置とBEAMERで作成するための実際の手順や、注意すべき点などを説明します。また、実際の加工例についても紹介します。

緊急事態宣言対象地域からのご利用について

9月16日に東北大学の行動指針（BCP）レベルが2に引き下げられました。緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。

緊急事態宣言対象地域からのご利用について

8/27より宮城県も緊急事態宣言対象地域となりましたが、県内からのご利用はこれまでどおり受け付けております。県外の緊急事態宣言対象地域からのご利用は、宣言解除後までお待ちくださいますようお願い申し上げます。