ご利用状況
2023年2月までの利用実績はこちらです。
2022年度 「ARIM事業利用報告書」作成のお願い
いつも試作コインランドリをご利用下さり、誠にありがとうございます。
年度末になりましたので、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM事業（公開事業））のご利用の皆様には、今年度（2022年度）のARIM事業利用報告書のご作成・ご提出をお願い申し上げる次第です。
ご作成頂く利用報告書は、年度単位・課題毎に国へ提出が必要なものですので、どうかご理解下さいますようお願い申し上げます。
利用報告書は公開されますので、差支えない範囲でご記入ください。
●提出先、問合せ先：
東北大学ナノテク融合技術支援センター
微細加工分野 試作コインランドリ
担当：戸津健太郎、森山雅昭
Mail: shisaku-info/at/@ml.tohoku.ac.jp （※ /at/ を @ に変更して下さい）
●〆切：2023年3月17日（金）
第33回マイクロシステム融合研究会
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたします。今回はMEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、および3Dパターニング等の応用」についてご講演いただきます。皆様ぜひご参加ください。
日時： 2023年3月24日(金) 13：00～17：30
開催方法： オンライン（Zoom）
主催： 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
参加費：無料
詳細・申込み: https://forms.gle/ft34M65EQ74UFTLRA
(ここから入れない場合はブラウザにコピーアンドペーストしてみてください)
■配信用のURLは詳細決まりましたら、お申込みの方々へメールにてご連絡いたします。
■詳細はこちらをご覧ください。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense85.html
問い合せ先：東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
庄子 留美子 E-mail rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp TEL 022-305-2351
【プログラム】
13：00～13：40 関口 淳（リソテックジャパン）「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13：40～14：20 渡邉 陽司（ニコン）「DUV光マスクレス露光機の開発」
14：20～15：00 花城 秀明（ミカサ）「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」
～休 憩～
15：10～15：50 平井 義和（京都大学）「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15：50～16：30 竹田 宣生（ボールウェーブ）「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16：30～17：10 佐々木 実（豊田工業大学）「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17：10～17：30 戸津 健太郎（東北大学）「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について（文科省ARIMプロジェクト関係）」
2022年12月より料金改定のお知らせ
電気料金等の光熱水費や材料費の値上げに伴い、年度の途中ですが、12月ご利用分より、施設利用料、装置利用料、消耗品費を改定致します。新しい料金表は以下からダウンロード下さい。
電気料金は昨年度平均に比べ24%増加していたところに、12月分からは更に25%以上の単価値上がりとなります。重油の単価も昨年度平均より16%増えております。5～15％程度の値上がりとなりますが、ご理解賜りますよう、どうかよろしくお願いいたします。
2022年12月～2023年3月末（予定）
施設利用料、装置利用料
消耗品
マルチフォトン(MP)・超解像(STED)搭載 共焦点レーザー顕微鏡 Leica TCS SP8 の紹介
新規導入の顕微鏡です。組織や細胞のイメージングが得意です。ぜひご利用ください。 詳細はこちら
共焦点モードでは、使用する蛍光の種類や組み合わせに応じて波長を設定でき、超高感度検出器(HyD)により、微弱なシグナルでもS/N※1 の良いイメージングが可能。
マルチフォトン(MP)モードは、近赤外超短パルスレーザー光により、ダメージに弱い組織や生細胞の深部イメージングが可能。
超解像(STED)モードは、2014年ノーベル化学賞受賞の開発技術で、分解能の限界※2 を超えたナノレベルでの超高解像イメージングが可能。
西澤記念資料室（川内） 西澤先生ゆかりの品の展示を公開
企画展示 2022年9月30日～11月3日まで 期間中は毎日公開（休みなし） 10:00-16:00 見学無料
西澤潤一先生（東北大学第17代総長）ゆかりの品の展… | プレスリリース・研究成果 | 東北大学 -TOHOKU UNIVERSITY-
NMFS
微細パターン形成に関するシンポジウムを9月7日～9日、東北大学にて開催します。初日は講演、2日目、3日目は試作コインランドリにおける実習です。参加費無料です。皆様、ぜひ、ご参加ください。
半導体加工技術を応用して微細パターンを形成するナノマイクロファブリケーションは、半導体のみならずセンサや微小光学部品などの幅広いデバイス作製に欠かせない技術です。その要であるリソグラフィ技術のほか、エッチング、成膜、インプリント、めっきなど、様々な技術が複合的に用いられますが、加工装置や計測装置の進歩により、その応用範囲が拡大しています。本シンポジウムでは、デバイス分野の研究開発を加速させることを目的として、最新の加工装置や計測装置で可能となるナノマイクロファブリケーションに関する講演とハンズオンの実習を行います。
<日程> 2022年9月7日(水)~9日(金)
<主催> Nano-Micro Fabrication Symposium実行委員会
<共催> 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
<会場> 東北大学環境科学研究科本館/西澤潤一記念研究センター
<対象分野> ナノ/マイクロファブリケーションに関わる技術全般
<プログラム>
9月7日 Seminar 環境科学研究科本館 講演：2階大講義室 技術展示：1階展示スペース
10:30 開会挨拶
10:40-11:30 基調講演
東北大学 国際放射光イノベーション・スマート研究センター 矢代 航 教授
「微細加工のX線・中性子イメージングへの応用」
11:30-12:30 休憩（近隣で昼食をとられる方へご案内 https://goo.gl/maps/gasRnzTM5R18eZBRA ）
12:30-17:00 講演、技術展示
12:30-12:50 アメテック株式会社
12:50-13:10 パーク・システムズ・ジャパン株式会社
13:10-13:30 SIJ Technology, Inc.
13:30-14:10 ～ネットワーキングブレーク（技術展示見学）～
14:10-14:30 ミカサ株式会社
14:30-14:50 株式会社ティ・ディ・シー
14:50-15:10 住友精密工業株式会社
15:10-15:30 GenlSys株式会社
15:30-15:50 ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
16:00-16:50 展示会ブースツアー
16:50 閉会挨拶
技術展示：上記講演企業に加えて、日東電工株式会社
9月8日 Hands-on Workshop -Basic- 西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置、EB描画装置、BEAMER、Zygo、膜厚測定機能付きスピンコータ、サブフェムトインクジェット、AFMなど、メーカーのご協力により8コースを用意しています。
10時～17時を2時間ごとに3つのセッションに分けていますので、最大3つのコースへの参加が可能です。
9月9日 Hands-on Workshop -Advanced- 西澤潤一記念研究センター
レーザ描画装置によるグレイスケール露光（DOE、マイクロレンズアレイ）、EB描画装置によるBEAMER補正パターンの露光
Hands-on Workshopのプログラム 8月19日現在(PDF)
お申込みなどの詳細→ NMFS ホームページ
MEMS集中講義を高松で開催
8月8日～9日、香川大学の皆様のご協力により、高松で開催いたしました。現地参加20名、オンライン参加260名と多くの皆様にご参加いただきました。ありがとうございました。引き続きYouTubeにてアーカイブ配信を行っています。
オンライン講演会のご案内
“Nanocoatings are the future”
－A look at advanced coating technology－ Mr. Michael Robinson, Consultant, Italy
2022年7月28 日（木） 16:00-18:00
自動車の外装に応用されたナノコーテイングを具体例として取り上げながら、デザイナーとしての視点で、以下のポイントについて彼の見解を示します；
＊今日の光学膜コーテイング
＊ナノテクノロジー
＊ナノマテリアル － スマートマテリアル
＊バイオナノテクノロジー － バイオナノマシン － バイオナノセンサー
＊MEMS対NEMS
＊MOEMS対NOEMS
＊ナノチップ
＊ナノボット
参加申込方法：
参加希望者は、ご芳名、貴社名、ご所属、役職、所在地、連絡先、Ｅメールをお知らせください。
参加申し込み先 -光融合技術協会理事 小野明 akira.ono1257_@_gmail.com （_@_ を@に変換してください。）
MS Teams参加URLをお送りします。