試作装置見学室の紹介

　試作装置見学室とは

米国のシリコンバレーにあるサンノゼのTec-Museumで、一連の半導体工程が以前展示されておりました。このようなものを作りたいと考えて、半導体集積回路(IC)の設計から試作までをコンパクトな形で理解していただけるように試作装置見学室を設置しました。以前使用していた自作の装置などを展示しています。また1980年代に本学で行われたCMOSLSIの設計試作に関するポスターや資料・ウェハもご覧いただけます。


　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　教授　　江刺　正喜

▲ページトップに戻る