第30回マイクロシステム融合研究会

皆様、ぜひご参加ください。

日時: 2021年7月7日（水）14:00～17:30

開催方法: オンライン（Zoom）　参加無料

主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム

申込みフォーム: https://forms.gle/VvDsda91cj2Lnmc89

問い合わせ先: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　庄子留美子　 Tel.022-305-2351

【プログラム】　テーマ：生体計測のためのガスセンサ、嗅覚センサ

（13:00-13:50　MEMSパークコンソーシアム総会）　

14:00-14:40　三林 浩二（東京医科歯科大学）「バイオ蛍光による生体ガス成分の高感度計測とイメージング　“ppb～ppt(v/v)ガス成分を選択的・時空間的に捉える”」

14:40-15:20　中本 高道（東京工業大学）「香りの再現と印象予測を行う嗅覚IT技術」

15:20-15:30　休憩

15:30-16:10　都甲 潔（九州大学）「AIと電気化学抵抗変化を用いた人工嗅覚システムの研究開発」

16:10-16:50　申 ウソク（産業技術総合研究所）「ヒトのにおいをかぎ分けるガスセンサ技術」

16:50-17:30　吉川 元起（物質・材料研究機構）「嗅覚センサの総合的研究開発」

緊急事態宣言対象地域からのご利用について

明日5/12より、大学のBCPレベルが2に下がります（詳しくはこちら）。緊急事態宣言対象地域（お住まい、勤務地）からの試作コインランドリのご利用ですが、緊急事態宣言解除後のご利用をまずご検討ください。
なお、速やかなご利用が必要な場合は、感染予防対策を徹底いただいた上で受けさせていただきますので、ご相談ください。また、ご利用に際しては、内履き、ボールペン、クリーンスーツ等の必要なものを持参いただくなど、西澤センターの感染予防対策を徹底してくださいますよう、お願い致します。引き続き質問票の提出を入館時にお願いします。

緊急事態宣言発令について

現在、東北大学はBCPレベル3（4/1現在）となっており、緊急事態宣言対象地域から試作コインランドリをご利用いただくことはできない状況です。申し訳ございませんが、ご了承くださいますようお願いいたします。

新料金表

4月からの料金表をアップしました。ご利用をお待ちしております。

新料金表

3/20夜の地震の影響

EB描画装置が停止したほかは、今のところ影響はありません。22日からのご利用をお待ちしております。ご心配くださり、ありがとうございます。

LPCVD復旧

地震で不調となっておりましたLPCVDが復旧しました。SiN、Poly-Si、SiO2、全ての成膜テストまで完了しております。ぜひご利用ください。

2/13夜の地震の影響

地震直後に確認と応急対応を行い、本日14日朝から片付けを行いました。2階クリーンルームの装置につきまして、LPCVD以外は今のところ問題は見つかっておりません。明日15日朝から通常通りご利用いただける予定です。ただし、各装置で不具合が発生する可能性もありますので、ご利用時には十分ご注意いただき、何かございましたら、すぐにスタッフにお知らせください。3階クリーンルームは片付けが済んでおりませんが、ご利用が多い化学処理室（ドラフトチャンバーがあるエリア）から片付けを進めて、早急にご利用いただけるようにいたしますので、どうぞよろしくお願いいたします。

装置搬入と準備のスケジュール

以下のとおり、新規装置搬入と準備を行います。ご利用の皆様にはご迷惑をお掛けしますが、ご了承くださいますようお願い申し上げます。

1月7日（木）
　　1F　FESEM（NICTより譲渡）搬入（～1月15日まで立ち上げ予定）

1月12日の週
　　【組立室】　片付け
　　【イエロールーム】　片付け、中央の机（コータ、HP）移設、Sussアライナ移設、旧ステッパユーティリティ除去等

1月15日（金）～17日（日）
　　【イエロールーム】　一部の壁を撤去（2月中旬～下旬のコータ・デベロッパ搬入後の壁設置まで開放状態）、FFU移設

1月19日（火）
　　【組立室】　キャップシール機等移設（2Fの別の部屋へ）
　　【スパッタ室】　アネルバRIE搬出

1月25日（月）
　　【組立室】　ステッパ剛性架台搬入

1月26日（火）
　　【スパッタ室】　エリオニクスECRロングスロースパッタ搬入

1月28日（木）
　　【検査室】　住友精密TEOS-PECVD搬入

2月2日（火）
　　【組立室】　キヤノンi線ステッパ搬入（～3月末まで立ち上げ）

2月中旬を予定
　　【イエロールーム】　Sussコータデベロッパ搬入（～3月末まで立ち上げ予定）